等離子體表面處理儀是通過利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài),利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。中文名等離子體表面處理儀外文名PlasmaCleaner定義電子設(shè)備目的清潔、改性、光刻膠灰化等用途醫(yī)用材料研究,生物芯片領(lǐng)域處理對(duì)象金屬,半導(dǎo)體,氧化物等1簡(jiǎn)介等離子體表面活性儀(PlasmaCleaner)2工作原理首先,我們來說一下什么叫做等離子體。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),它廣
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