壓阻式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)簡介
2020-12-30標(biāo)簽:加速度傳感器
加速度傳感器的結(jié)構(gòu)如圖所示。在兩塊表面鍍銀的壓電晶片(石英晶體或壓電陶瓷)間夾1片金屬薄片,并引出輸出信號的引線。在壓電晶片上放置1塊質(zhì)量塊,并用硬彈簧對壓電元件施加預(yù)壓縮載荷。靜態(tài)預(yù)載荷的大小應(yīng)遠(yuǎn)大于傳感器在振動、沖擊測試中可能承受的最大動應(yīng)力。這樣,當(dāng)傳感器向上運(yùn)動時(shí),質(zhì)量塊產(chǎn)生的慣性力使壓電元件上的壓應(yīng)力增加;反之,當(dāng)傳感器向下運(yùn)動時(shí),壓電元件的壓應(yīng)力減小,從而輸出與加速度成正比例的電信號。
傳感器整個(gè)組件裝在一個(gè)原基座上,并用金屬殼體加以封罩。為了隔離試件的任何應(yīng)變傳遞到壓電元件上去,基座尺寸較大。測試時(shí)傳感器的基座與測試件剛性連接。當(dāng)測試件的振動頻率遠(yuǎn)低于傳感器的諧振頻率時(shí),傳感器輸出電荷(或電壓)與測試件的加速度成正比,經(jīng)電荷放大器或電壓放大器即可測出加速度。
應(yīng)變壓阻式加速度傳感器的敏感芯體為半導(dǎo)體材料制成電阻測量電橋,其結(jié)構(gòu)動態(tài)模型仍然是彈簧質(zhì)量系統(tǒng)。現(xiàn)代微加工制造技術(shù)的發(fā)展使壓阻形式敏感芯體的設(shè)計(jì)具有很大的靈活性以適合各種不同的測量要求。在靈敏度和量程方面,從低靈敏度高量程的沖擊測量,到直流高靈敏度的低頻測量都有壓阻形式的加速度傳感器。
同時(shí)壓阻式加速度傳感器測量頻率范圍也可從直流信號到具有剛度高,測量頻率范圍到幾十千赫茲的高頻測量。超小型化的設(shè)計(jì)也是壓阻式傳感器的一個(gè)亮點(diǎn)。需要指出的是盡管壓阻敏感芯體的設(shè)計(jì)和應(yīng)用具有很大靈活性,但對某個(gè)特定設(shè)計(jì)的壓阻式芯體而言其使用范圍一般要小于壓電型傳感器。
壓阻式加速度傳感器的另一缺點(diǎn)是受溫度的影響較大,實(shí)用的傳感器一般都需要進(jìn)行溫度補(bǔ)償。在價(jià)格方面,大批量使用的壓阻式傳感器成本價(jià)具有很大的市場競爭力,但對特殊使用的敏感芯體制造成本將遠(yuǎn)高于壓電型加速度傳感器。
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