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聚焦離子束掃描電鏡(SEM)

來源:儀準科技(北京)有限公司   2020年05月18日 12:08  

聚焦離子束,F(xiàn)ocused Ion beam

服務(wù)介紹:FIB(聚焦離子束,F(xiàn)ocused Ion beam)是將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號取得電子像,此功能與SEM(掃描電子顯微鏡)相似,或用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工。

服務(wù)范圍:工業(yè)和理論材料研究,半導(dǎo)體,數(shù)據(jù)存儲,自然資源等領(lǐng)域

服務(wù)內(nèi)容:1.芯片電路修改和布局驗證              

          2.Cross-Section截面分析                

          3.Probing Pad                                 

          4.定點切割     

掃描電鏡(SEM)

服務(wù)介紹:SEM/EDX(形貌觀測、成分分析)掃描電鏡(SEM)可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長和強度實現(xiàn)的,根據(jù)不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡(SEM)使用,可以對樣品進行微區(qū)成分分析。

 

服務(wù)范圍:,航天,半導(dǎo)體,*材料等

 

服務(wù)內(nèi)容:1.材料表面形貌分析,微區(qū)形貌觀察  

          2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析

          3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析

          4.納米尺寸量測及標示

          5.微區(qū)成分定性及定量分析

芯片失效分析實驗室介紹,能夠依據(jù)、國內(nèi)和行業(yè)標準實施檢測工作,開展從底層芯片到實際產(chǎn)品,從物理到邏輯全面的檢測工作,提供芯片預(yù)處理、側(cè)信道攻擊、光攻擊、侵入式攻擊、環(huán)境、電壓毛刺攻擊、電磁注入、放射線注入、物理安全、邏輯安全、功能、兼容性和多點激光注入等安全檢測服務(wù),同時可開展模擬重現(xiàn)智能產(chǎn)品失效的現(xiàn)象,找出失效原因的失效分析檢測服務(wù),主要包括點針工作站(Probe Station)、反應(yīng)離子刻蝕(RIE)、微漏電偵測系統(tǒng)(EMMI)、X-Ray檢測,缺陷切割觀察系統(tǒng)(FIB系統(tǒng))等

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