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電容膜片真空計(jì)的來源及性能介紹

來源:深圳市科銳詩汀科技有限公司   2014年03月04日 15:29  
    真空計(jì)是高精度總壓強(qiáng)測(cè)量和控制的*選擇。為達(dá)到優(yōu)異的半導(dǎo)體和等離子過程要求的性能,將CDG100D真空計(jì)的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇,配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口,和提供線性的0至10伏與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào)。INFICON電容真空計(jì)采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點(diǎn)是訊號(hào)穩(wěn)定性好,從大氣壓恢復(fù)快,預(yù)熱時(shí)間短和超長(zhǎng)的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量,成本效益好的壓強(qiáng)傳感器,用于半導(dǎo)體,等離子和各項(xiàng)要求高的真空應(yīng)用中。
 
    根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì),它由電容式薄膜規(guī)管又稱為電容式壓力傳感器和測(cè)量?jī)x器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法,儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法,具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)
 
    科銳詩汀電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì),在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和易于使用的特點(diǎn)。如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整??垢g性的超純陶瓷傳感器具有的零點(diǎn)穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長(zhǎng)使用壽命。*的傳感器屏蔽(技術(shù))保護(hù)真空計(jì)防止過程污染。堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了EMC兼容性,長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性。CDG025D真空計(jì)為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。
 
    電容膜片真空計(jì)*性:的滿量程穩(wěn)定性 – 與氣體類型無關(guān);抗腐蝕的氧化鋁傳感器;超小型, 同類產(chǎn)品中尺寸zui?。灰准? 任何方位安裝;數(shù)字訊號(hào)處理;無需維護(hù)。電容膜片真空計(jì)用途:真空鍍膜;真空監(jiān)測(cè);消毒滅菌;食品和包裝;真空爐, 拉晶器;分析;化學(xué)真空過程。

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