皮拉尼壓電真空計(jì)
PPG570新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(jì)（PPG570）基于*的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，該技術(shù)也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計(jì) 中 。PPG570與PPG550的區(qū)別在于額外安裝的ATM傳感器，該傳感器允許在經(jīng)典的負(fù)載鎖應(yīng)用中使用PPG570。
皮拉尼壓電真空計(jì)PPG570
新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(jì)（PPG570）基于 先進(jìn)的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，該技術(shù) 也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計(jì) 中 。 PPG570與PPG550的區(qū)別在于額外安裝的ATM傳感器， 該傳感器允許在經(jīng)典的負(fù)載鎖應(yīng)用中使用PPG570。例 如，在半導(dǎo)線(xiàn)行業(yè)或任何其他真空應(yīng)用中，相對(duì)于大 氣環(huán)境壓力的精確壓力測(cè)量都很重要。新型INFICON PPG570可用于直接插入式替換所謂的MKS儀器 MKS901P“Micro皮拉尼™和壓電負(fù)載鎖真空壓力傳感 器”。PPG570具有相同的連接口/接口分配、模擬量輸 出和RS232/485數(shù)字通信協(xié)議。
優(yōu)勢(shì)：
•在2毫巴以上氣體類(lèi)型獨(dú)立——允許與任何氣體混合物安全通風(fēng)
•在大氣中具有高精度和可重復(fù)性——用于可靠、快速的大氣壓力檢測(cè)
•大氣環(huán)境壓力測(cè)量 •最多3個(gè)固定繼電器 •安裝方向多樣——在工具設(shè)計(jì)中提供工程自由度
•可選擇模型輸出信號(hào)，便于系統(tǒng)集成
•數(shù)字接口RS232/RS485
•能夠直接插入替換MKS901P“Micro皮拉尼™和壓電負(fù)載鎖真空壓力傳感器”
•合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、CSA、RoHS
應(yīng)用范圍
•半導(dǎo)線(xiàn)負(fù)載鎖應(yīng)用
•用于分析設(shè)備/質(zhì)譜儀
•物理氣相沉積
•爐內(nèi)熱處理
