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MKS流量計的詳細(xì)介紹及選型指南

來源：深圳市科銳詩汀科技有限公司 2014年02月25日 15:46

美國MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。

MKS流量計是一種全金屬流量計，適用于各種氣體流量測量，模擬輸出精度為滿量程1%。全金屬的179A可滿足您的各種電氣和機械配置需求，包括卡邊緣和電器連接。模擬信號接口有9針和15針，數(shù)據(jù)接口有S-485和1/4compression。氣管接口有VCR和VCO。

MKS流量計以單位時間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。

MKS流量計選型：

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