B-A 型真空計(jì)BAG402（中到超高真空真空計(jì)）
INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG402 涵蓋從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的廣泛測(cè)量范圍。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動(dòng)真空計(jì)套裝，在低成本、可重復(fù)的工藝過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。dute的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更優(yōu)異的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和長(zhǎng)使用壽命。
優(yōu)勢(shì)
_ 測(cè)量范圍從 5 x 10-10毫巴至 6.7 x 10-2 毫巴 (3.75 x 10-10乇至 5 x 10-2乇)
_ 的再現(xiàn)性在過(guò)程壓強(qiáng)從 10-8 … 10-2毫巴的范圍內(nèi)為 5%
_ 過(guò)壓檢測(cè)保護(hù)燈絲防止過(guò)早燒毀
_ 兩根涂敷氧化釔的長(zhǎng)壽命銥燈絲
_ 可提供以太網(wǎng)現(xiàn)場(chǎng)總線接口
_ 發(fā)射電流選擇降低控制的復(fù)雜性
_ 易于更換傳感元件和在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性
_ RoHS 兼容性
應(yīng)用
_ 在半導(dǎo)體過(guò)程和傳送室中的壓強(qiáng)測(cè)量
_ 工業(yè)鍍膜
_ 在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
