詳細(xì)摘要: 掃描型膜厚測(cè)試儀全自動(dòng),超快速,高精準(zhǔn)等膜厚表征繪制和膜厚涂覆的光學(xué)特性,利用光學(xué)反射方法來測(cè)量和自動(dòng)分析薄膜涂層的表征。
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