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碳質(zhì)探頭傳感器(高濃度型)監(jiān)測儀 HE-960HC

碳質(zhì)探頭傳感器(高濃度型)監(jiān)測儀 HE-960HC適用于半導(dǎo)體和FPD生產(chǎn)制程中化學(xué)藥液和廢液的管理碳質(zhì)探頭傳感器(高濃度型)監(jiān)測儀 HE-960HC測量電導(dǎo)率可作為基于化學(xué)藥液和廢水管理的參數(shù)。其對偶電路和軟件與4-極式炭質(zhì)傳感器相結(jié)合測量范圍可達0至1000mS/cm而無需切換。由于具有兩種濃度轉(zhuǎn)換功能，所以可將其作為過程濃度計使用，也可監(jiān)測特定化學(xué)藥液中的濃度變化。

碳質(zhì)探頭傳感器(高濃度型)監(jiān)測儀 HE-960HC特征

• 大量程適用

zui高可測量至1000 mS/cm（溫度補償前的電導(dǎo)率量程）

• 自動顯示范圍切換

從高至低濃度顯示范圍自動切換。當維持有效的電導(dǎo)率分辨率是也可使用該產(chǎn)監(jiān)測變化。

• 具有各種溫度補償

由于可自由設(shè)定標準溫度和溫度補償 ，溫度補償可被應(yīng)用于對應(yīng)液體。

• 濃度轉(zhuǎn)換功能

輸入溫度系數(shù)和濃度與電導(dǎo)率的關(guān)系，可進行兩種濃度轉(zhuǎn)換。

• 通訊功能 (RS-485) 為標準配置

可遠程控制主機，例如：變更設(shè)定或檢查測量值

• 耐藥性4-極炭質(zhì)傳感器

采用了新型的使用高耐藥性玻璃碳材料的FES-510系列4-極式流通型傳感器。可測量使用于半導(dǎo)體清洗和其它制程中多種化學(xué)藥液的大范圍電導(dǎo)率。準確監(jiān)測TMAH（羥化四甲銨），一種在半導(dǎo)體制程中光刻工藝時使用到的顯影液的主要成分。
重復(fù)性：± 0.003%
測量范圍：0-3%
耐化學(xué)藥品的碳極傳感器