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更新時間：2018-05-15 14:08:44瀏覽次數(shù)：725次
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超精密電渦流位移傳感器
有埃米級分辨率電渦流位移傳感器SMU9000、SMT9700,
特點：
-超高分辨率，1埃
-信噪音比：1PPM
-精確度0.1%，通過計算機校準；
-頻響：0～10KHZ
其典型應用：
光學平臺位置測量；半導體和光器件的研磨閉環(huán)測控；半導體模板對齊系統(tǒng)定位；半導體蒸鍍系統(tǒng)定位；
電子顯微鏡垂直軸定位；原子顯微鏡垂直軸定位；磁懸浮軸控制；部件研磨加工的精確定位；鏡片定位控制；
物質收縮測試測量；機械結構變形探測與測試；高精度照排3D位置測量；讀寫頭制造，研磨板定位；
有納米級高穩(wěn)定差動電渦流位移傳感器KD5100
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