MCV-5004基本技術(shù)參數(shù)

激光頻率穩(wěn)定性

±0.05ppm

氦氖激光管

2級(jí)

激光輸出功率

＜1mW

激光管壽命

40000小時(shí)

空氣溫度傳感器精度

±0.1 ℃

空氣壓力傳感器精度

±1.1mmHg

材料溫度傳感器精度

±0.1 ℃

環(huán)境溫度（濕度）

5-38 ℃（0-95％）

電源電壓（電源頻率）

90-265V（50-60Hz）

線性位移測(cè)量

測(cè)量距離

≥30m（60m,100m可選）

分辨率

1nm

精度

±0.5ppm

速度

5m /秒

主從動(dòng)軸同步性檢測(cè)

數(shù)據(jù)采樣速率

1-1000個(gè)數(shù)/秒

角偏(俯仰角、偏擺角)

測(cè)量距離

≥30m（60m,100m可選）

分辨率

0.2秒

精度

±0.2%±0.2 秒

測(cè)量范圍

角度：±10 度

速度

4m /秒

直線度測(cè)量

測(cè)量距離

≥30m（60m,100m可選）

精度

±0.2%±0.01 微米

測(cè)量范圍

±1000 微米

速度

4m/秒

向量法體對(duì)角線檢測(cè)

分辨率

1nm

精度

±0.5ppm

測(cè)量范圍

3m×2m×1m

速度

4m/秒

可檢測(cè)出機(jī)床3個(gè)定位精度、6個(gè)直線度、3個(gè)垂直度誤差

垂直度檢測(cè)

用SD附件

同上

兩導(dǎo)軌平行度檢測(cè)

距離

≥30m（60m,100m可選）

分辨率

1nm

精度

±1ppm

圓形及非圓形軌跡測(cè)量

循圓測(cè)量半徑

1-75毫米

循圓測(cè)量數(shù)據(jù)采樣速率

1-1000個(gè)數(shù)/秒

循圓測(cè)量采樣數(shù)

25000個(gè)數(shù)/圈