B30化學(xué)在線濃度計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，羅森尼克斯Rhosonics 的超聲波技術(shù)通過(guò)同時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)多種化學(xué)品濃度，可以更好地監(jiān)督過(guò)程。技術(shù)的選擇取決于需要在化學(xué)溶液中測(cè)量的濃度數(shù)量。Rhosonics 可實(shí)現(xiàn)高達(dá) ± 0.0001 wt% 的測(cè)量精度。需要注意的是，羅森尼克斯Rhosonics 技術(shù)可用于使用超聲波技術(shù)測(cè)量以下主要化學(xué)品或化學(xué)品濃度：

清洗和拋光：CMP漿料、H2O2、HF、NH3、BHF、KOF、HNO3、SC1、SC2、APM、食人魚(yú)溶液、HCl、C6H8O7：H20、王水、碘溶液、HCl、HNO3、C3H8O（IPA）、C3H6O（丙酮）、（CH3）2CHOH、APM


光刻膠和剝離：TMAH、TMAH + PR + CO3、H2SO4：H2O2、SPM、H2Ta2O6、二甲基亞砜 （DMSO）、CeO2

蝕刻：TMAH、TMAH + PR + CO3、TBHA、H2SO4、HF、HNO3、KOH、C2HCl3、HNA

使用羅森尼克斯Rhosonics超聲波技術(shù)，可以測(cè)量生產(chǎn)過(guò)程中幾乎任何類型的化學(xué)品或固體溶液。除了半導(dǎo)體應(yīng)用外，太陽(yáng)能電池板和平板顯示器中的類似工藝也可以從Rhosonics技術(shù)中受益。

在每個(gè)制造過(guò)程中，技術(shù)都可以發(fā)揮作用。B30化學(xué)在線濃度計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，引入新技術(shù)可以提高生產(chǎn)率和工藝效率。其中一項(xiàng)技術(shù)是濃度監(jiān)測(cè)設(shè)備，用于實(shí)時(shí)觀察工藝化學(xué)品。在半導(dǎo)體行業(yè)中，以 精度測(cè)量化學(xué)品濃度非常重要，因?yàn)榛瘜W(xué)品的使用量很大?？梢苑治鲞^(guò)程信息以改進(jìn)過(guò)程。當(dāng)與過(guò)程控制結(jié)合使用時(shí)，如果發(fā)生過(guò)程變化，系統(tǒng)可以直接采取行動(dòng)。該分析儀有助于保持正確的化學(xué)濃度（在所需值內(nèi)），以保持過(guò)程在 條件下運(yùn)行。這有助于防止計(jì)劃外停機(jī)，提高最終產(chǎn)品質(zhì)量。因此，公司可以通過(guò)降低缺陷率來(lái)提高生產(chǎn)線效率。

B30化學(xué)在線濃度計(jì)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)

解決工藝挑戰(zhàn)的解決方案

為了避免基板的低效蝕刻和清潔，化學(xué)濃度控制是不可少的。工廠將避免使用比預(yù)期更多的化學(xué)品。更少的化學(xué)品使用量提供了更低的可變生產(chǎn)成本，并提供了更環(huán)保的設(shè)施。濃度比可以通過(guò)測(cè)量?jī)x器實(shí)時(shí)檢查，以確保溶液是所需的混合物。