Edge CDG045D2 電容膜片真空計 (1...1000乇/毫巴）

INFICON Edge 電容膜片式真空計是專為惡劣制造環(huán)境設計的極其準確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有wuyulunbi的零位穩(wěn)定性。Edge 隨附 INFICON 已獲zhuanli的dute傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產品的影響。電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節(jié)，另外還有 EtherCAT 現場總線接口可供選擇。其創(chuàng)新的加熱概念能夠對接觸表面進行冷卻，節(jié)約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類產品中最小巧的真空測量儀器。

好處

• 結構緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間

• 易于集成，EtherCAT，各種滿量程和法蘭，標配兩個設定點

• 簡單的一個按鈕或遠程信號歸零命令，零點偏移可調

• 用于快速維修和維護的診斷端口

• 兩年保修，更長的使用壽命，加熱概念和儀表保護

• 由于具有出色的信號穩(wěn)定性和可重復性，因此無需長期重新校準，即使在惡劣的等離子體應用中也是如此

• 合規(guī)性和標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS

典型應用

• CVD、蝕刻、PVD等半導體生產工藝