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產(chǎn)地	進口	加工定制	否

180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計全數(shù)字MKS ALTA質(zhì)量流量計在功能和性能上做了技術(shù)改進，幫助用戶在半導體行業(yè)，真空鍍膜行業(yè)增加產(chǎn)量，降低系統(tǒng)成本，更好的與腔體匹配。ALTA改進性能準確度到1%。減少MFMS庫存數(shù)量，ALTA代表MKS持續(xù)致力于幫助客戶提高生產(chǎn)效率，降低系統(tǒng)成本。

180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計選型

例如：180A00411CR36MXX選型

前綴	編碼
180A Analog	180A
氣體選擇
Helium, He	001
Argon, Ar	004
Hydrogen, H2	007
Nitrogen, N2	013
Oxygen, 02	015
流量選擇（zui大30000 N2當量）
10	11C
20	21C
50	51C
100	12C
200	22C
500	52C
1000	13C
2000	23C
5000	53C
10000	14C
20000	24C
接口法蘭選擇（兼容）
Swagelok® 4 VCR® male	R
1/4" Swagelok（兼容） Compression	S
C密封	C
W密封	H
閥門選擇
沒有閥門	3
模擬接口
9針“D"類型	A
15針“D"類型（MKS）	B
15針“D"類型（交替）	E
Profibus	4
DeviceNet	6
密封選擇
金屬密封	M
版本-*總線適配器
除了客戶，MKS公司將給當前的版本	XX
可選配件
ALTA數(shù)字軟件用戶界面工具包（單證）
模擬量I／O版本，USB通信，USB端口鍵**	1037539-001
模擬量I／O版本，USB通信，并行端口**	1037539-002
模擬量I／O版本，RS-232通信，USB鍵**	133730-G1
模擬量I／O版本，RS-232通信，并行端口鍵**	133730-G2
USB端口的PC DeviceNet版本***	133900-G1
與PC機并行端口的DeviceNet版本***	133900-G2
更換USB端口鍵	133897-G1
更換并行端口鍵	133897-G2
180A接線方式
使用USB電纜數(shù)字ALTA MFC轉(zhuǎn)換器組件模擬量I / O接口與PC機（包含在1037539套件內(nèi)）	1037538-001
電纜使用MKS 246 / 247電子數(shù)字ALTA 15針D 模擬量I／O接口（XX表示所需長度，例如CB1480-1-10）	CB1480-1-XX
RS-232電腦延伸電纜10英尺（包含在133730套件內(nèi)）	095-103377
RS-232電纜用于ALTA MFC模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器組件模擬量I/O接口與PC機（包含在133730套件內(nèi)）	134566-G1