B-A 型皮拉尼電容膜片真空計(jì)

大氣壓至超高真空三合一真空計(jì) BCG450

INFICON Bayard-Alpert Pirani 電容式隔膜真空計(jì) （Triple-Gauge™） BCG450 將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢(shì)融合在一個(gè)體積小、價(jià)格低的規(guī)管中，可以測(cè)量從 5×^10-10 至 1500 mbar（3.75×^10-10 至 1125 Torr）的過(guò)程壓力和基本壓。BCG450 的設(shè)計(jì)旨在替代三個(gè)傳感器（熱電離、加強(qiáng)對(duì)流 Prani 和真空開(kāi)關(guān)），因而節(jié)省了成本和寶貴的工具空間。

好處

• BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測(cè)量?jī)x器的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

• 壓力超過(guò) 10 Torr 時(shí)壓力測(cè)量不受氣體類型限制，可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預(yù)抽真空室控制

• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過(guò)早燒毀

• 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

• 大氣氣壓下壓差測(cè)量消除了大氣壓力變化引起的不確定性

• 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證再現(xiàn)性

• 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

新聞

• 新！現(xiàn)在提供 ProfiNET 數(shù)字接口！

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和預(yù)抽真空室的壓力測(cè)量

• 工業(yè)鍍膜

• 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制