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深圳市科銳詩汀科技有限公司資料大小
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·新型EM在PVD工藝壓強下工作,提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換,簡化數(shù)據(jù)的解譯過程。 | |
·新型加長的四極桿場可提高低質(zhì)量范圍的過濾能力,提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度,從而改善氫的監(jiān)測靈敏度。 | |
Transpwctor XPR3是新一代的高壓強四極場工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎(chǔ)上,在物理相汽沉積(PVD)檢測中具有無比高的靈敏度、度和靈活性。一系列技術(shù)上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空,無需大型負責的壓強轉(zhuǎn)換設(shè)備。 | |
TRANSPECTOR XPR3的應(yīng)用 | |
·PVD工藝模塊 | |
·預(yù)清洗模塊 | |
·Non-cluter PVD設(shè)備 | |
·Clamped的除氣模塊 |
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