深圳市汐品科技有限公司
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所 在 地珠海市
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更新時(shí)間:2025-04-01 07:52:21瀏覽次數(shù):52次
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追求的TEM樣品制備工具在設(shè)備及高性能納米材料的評(píng)價(jià)和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。近來,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000運(yùn)用高對(duì)比度,實(shí)時(shí)SEM觀察和加工終點(diǎn)檢測功能,可制備厚度小于20 n......
追求的TEM樣品制備工具
在設(shè)備及高性能納米材料的評(píng)價(jià)和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。
近來,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。
日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000
運(yùn)用高對(duì)比度,實(shí)時(shí)SEM觀察和加工終點(diǎn)檢測功能,可制備厚度小于20 nm的超薄樣品
加工方向控制技術(shù)(Micro-sampling®*3系統(tǒng)(選配)+高精度/高速樣品臺(tái)*)對(duì)于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生,以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。
Triple Beam®*1(選配)可提高加工效率,并能使消除FIB損傷自動(dòng)化
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
---|---|
FIB鏡筒 | |
分辨率 | 4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV |
加速電壓 | 0.5~30 kV |
束流 | 0.05 pA ~ 100 nA |
FE-SEM鏡筒 | |
分辨率 | 2.8 nm @ 5 kV、3.5 nm @ 1 kV |
加速電壓 | 0.5~30 kV |
電子槍 | 冷場場發(fā)射型 |
探測器 | |
標(biāo)準(zhǔn)検出器 | In-lens 二次電子探測器/樣品室二次電子探測器/背散射電子探測器 |
樣品臺(tái) | X:0 ~ 205 mm Y:0 ~ 205 mm Z:0 ~ 10 mm R:0 ~ 360°連續(xù) T:-5 ~ 60° |
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