蝕性和劇毒性的氣體介質(zhì)。

 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn) Features
h 單級(jí)式減壓結(jié)構(gòu)
h 膜片與母體采用硬密封結(jié)構(gòu)，并有二次密封保護(hù)
h 上蓋帶有多重密封保護(hù)和排放接口
h 母體接口：1/4” 面密封內(nèi)螺紋
h 安全壓力：1.5 倍使用壓力
h 輸入壓力：500 psi，1500 psi，3000 psi
h 輸出壓力：0-25 psi，0-50 psi，0-100 psi，
0-150 psi，0-250 psi
h 適用溫度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
h 泄漏率：1×10-9 mbar.l/s
h CV 值：0.16
h 重量：1.54 kg (3.42 lbs)

 

材質(zhì) Materials
h 母體：316L (EP)，可選 C22 哈氏合金
h 閥座：PCTFE
h 膜片：C22 哈氏合金
h 閥桿：C22 哈氏合金

 

適用范圍 Typical Applications
h 半導(dǎo)體
h 太陽(yáng)能
h 真空鍍覆設(shè)備
h 特氣制備