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SENTECH-反射膜厚儀 - (RM1000/2000 )

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上海德竹芯源科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

RM1000 和 RM2000 代表 SENTECH 反射儀。臺(tái)式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺(tái)、光譜光度計(jì)和電源。它可以選配 x-y 自動(dòng)掃描臺(tái)和自動(dòng)掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。

詳細(xì)介紹

擴(kuò)展折射率指數(shù)測量極限

● SENTECH 的反射儀的特點(diǎn)是通過樣品的高度和傾斜調(diào)整進(jìn)行準(zhǔn)確的單光束反射率測量，光學(xué)布局的高光導(dǎo)允許對 n 和 k 進(jìn)行重復(fù)測量，對粗糙表面進(jìn)行測量及對非常薄的薄膜進(jìn)行厚度測量。

紫外-近紅外光譜范圍

● RM1000 430?nm?–?930?nm

● RM2000 200?nm?–?930?nm

高分辨率自動(dòng)掃描

● 反射儀 RM1000 和 RM2000 可選配 x-y 自動(dòng)掃描臺(tái)和自動(dòng)掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。

● 反射膜厚儀 RM1000 和 RM2000 測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用 SENTECH FTPadv Expert 軟件計(jì)算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光-近紅外光譜范圍內(nèi)，可分析 5nm～50μm 厚度的單層膜、層疊膜和基片。

● RM1000 和 RM2000 代表 SENTECH 反射儀。臺(tái)式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺(tái)、光譜光度計(jì)和電源。它可以選配 x-y 自動(dòng)掃描臺(tái)和自動(dòng)掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。

● 除了膜厚和光學(xué)常數(shù)之外，我們的反射儀還可測量薄膜（例如，AlGaN on GaN，SiGe on Si）、防反射涂層（例如，紋理硅太陽能電池上的防反射涂層、紫外敏感 GaN 器件上的防反射涂層），以及小型支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學(xué)、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用。