當(dāng)前位置：上海德竹芯源科技有限公司>>半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備>>ADEPT 1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

ADEPT 1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-08-09 07:41:05瀏覽次數(shù)：282次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自儀表網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

上海德竹芯源科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：167條

所在地區(qū)：上海上海

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）是使用一次離子束（通常是Cs源）轟擊樣品表面，而產(chǎn)生二次離子，然后用質(zhì)譜分析儀分析二次離子的質(zhì)荷比（m/q），從而得知元素在樣品中的深度分布，是分析半導(dǎo)體摻雜和離子注入的有力的工具。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢(shì)

● ULVAC-PHI 新設(shè)計(jì)的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT 1010，在原有的 PHI 6300 和 PHI 6600 的基礎(chǔ)上，改善了離子光學(xué)系統(tǒng)，是在一次離子能量低至 250eV 時(shí)，仍保持有效的濺射束流的動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)（D-SIMS）。

特點(diǎn)

● 大束流低能量離子槍設(shè)計(jì)，提高了深度分辨率

● 高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率，在提高分析效率的同時(shí)又提高了檢測(cè)靈敏度

● 高精度全自動(dòng) 5 軸樣品操控臺(tái)

● 不同方向進(jìn)入檢測(cè)器的二次離子，均可被高靈敏地收集檢測(cè)

應(yīng)用實(shí)例分析

● 采用一次離子源 Cs 在加速 5kV 束流為 100nA 的條件下，分析 GaAs 中注入的 H，C，O 元素?？梢钥吹?H 檢測(cè)限值 7.1 × 10¹⁶atm/cm³，O 檢測(cè)限值 4.4 × 10¹⁵atm/cm³，C 檢測(cè)限值 2.0 × 10¹⁵atm/cm³。