上海德竹芯源科技有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間：2024-08-08 07:48:56瀏覽次數(shù)：116次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)該設(shè)備主要應(yīng)用于材料表面有機(jī)污染物的去除，納米級(jí)金屬氧化層去除，增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性，消除涂層、塑封料的分層，提升表面能，實(shí)現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合，以及表面粗化與微蝕：消除表面應(yīng)力，使材料更易結(jié)合。光刻膠去除，納米級(jí)表面粗化，應(yīng)力釋放等。
應(yīng)用領(lǐng)域
表面清潔與活化
● 材料表面有機(jī)污染物的去除
● 去除納米級(jí)金屬氧化層
● 增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性，消除涂層、塑封料的分層
● 提升表面能，實(shí)現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合
● 表面粗化與微蝕：消除表面應(yīng)力，使材料更易結(jié)合
表面粗化及微刻蝕
● 納米級(jí)表面粗化，應(yīng)力釋放
● 光刻膠去除
● 對(duì)多種材料的選擇性刻蝕
設(shè)備特點(diǎn)
● 設(shè)計(jì)緊湊的桌面型等離子工藝平臺(tái)，易于與廠務(wù)端連接
● 可靠的腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保工藝腔體具備優(yōu)異的氣密性與耐用性
● 優(yōu)秀的進(jìn)氣、排氣設(shè)計(jì)，保證工藝過(guò)程的均勻性
● 支持多種電極形式與最多 4 路工藝氣體，適用于處理各種產(chǎn)品并適應(yīng)多種工藝要求
● 直觀的圖形控制界面，通過(guò)觸屏可實(shí)時(shí)觀察、控制工藝過(guò)程
● 13.56MHz 射頻電源與自動(dòng)匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復(fù)性
標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格
● 設(shè)備備尺寸：635W × 860D × 690H mm
● 腔體尺寸：340W × 456D × 280H mm，43L
● 腔體支持電極數(shù)量：8，電極間距：57mm
● 功率電極尺寸：226W × 320D mm，接地電極尺寸：300W × 320D mm
● 射頻功率及頻率：300W / 13.56MHz
● 氣路配置：標(biāo)配兩路 / 最多可擴(kuò)充至 4 路氣體
● 真空泵標(biāo)準(zhǔn)配置：25m3/h 油泵
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