上海德竹芯源科技有限公司
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所 在 地上海
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更新時(shí)間：2024-08-07 07:53:52瀏覽次數(shù)：129次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)潔凈度100級(jí)、氧濃度低于 20ppm 的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
● 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級(jí)，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2 消耗量極低
● 通過(guò)磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響
● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收
● 液晶觸摸屏操作，自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式
● 擁有門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器、過(guò)電流漏電漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等安裝裝置
● 工作溫度 360℃ 和 500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度低于 20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠 PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等
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