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TS-200/2000HP 功率器件在片測試系統(tǒng)

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更新時間：2024-07-31 07:35:31瀏覽次數(shù)：61次

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上海德竹芯源科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

系統(tǒng)主要基于 Keysight B1505 功率器件分析儀器和 MPI 200mm 大功率探針臺，MPI功率系列探針臺是非常適用于實驗室分析的手動和半自動功率探針臺解決方案，支持電壓高達(dá) 3kV（Trixial）/10kV（Coaxial），電流高達(dá)600A（探針），且支持外部編程控制，可與測試機(jī)協(xié)同完成自動化測試。兩者協(xié)同工作，主要完成大功率SiC器件晶圓級IV特性和寄生電容特性在片測試，測試范......

詳細(xì)介紹

● 兼容 8 寸及以內(nèi)晶圓，可定制 chuck 支持 Taiko 的晶圓

● 電壓 3 kV，電流 130 A（后期可升級10 KV 500 A）

● 晶圓級三端垂直導(dǎo)電器件 SiC MOSFET（水平器件）

● 溫度范圍 -60℃ ~ 300℃

● 可進(jìn)行 3 kV 高壓偏置電容測量，全自動切換測試 Ciss，Coss，Crss，測試頻率 100 kHz

● 支持探針和探卡兩種針測方式