德國MUEGGE MA3000C-403BB等離子體源適用于刻蝕沉積過程

MUEGGE GmbH是一家在工業(yè)微波技術(shù)領(lǐng)域具有國際影響力的供應(yīng)商，尤其在工業(yè)微波加熱和等離子技術(shù)方面有著顯著的專業(yè)優(yōu)勢。該公司的產(chǎn)品組合涵蓋了微波發(fā)生器、部件以及相應(yīng)的供電技術(shù)，廣泛應(yīng)用于等離子體工業(yè)、半導(dǎo)體和平板的應(yīng)用程序。

主要產(chǎn)品：

MUEGGE微波發(fā)生器

MUEGGE微波頭

MUEGGE電源

MUEGGE磁控管

MUEGGE波導(dǎo)元件

MUEGGE遠程等離子體源MA3000C-403BB

MA3000C-403BB用于等離子體應(yīng)用的遠程等離子體源。這款設(shè)備主要用于等離子體工藝，如刻蝕和沉積過程。

設(shè)計旨在提供高穩(wěn)定性和長壽命的等離子體處理，同時確保處理結(jié)果的一致性和優(yōu)異的粒子性能。其遠程等離子體源（RPS）通過在源內(nèi)產(chǎn)生高密度的中性原子（自由基），為各種應(yīng)用提供出色的工藝穩(wěn)定性，包括快速去除光刻膠和聚合物、半導(dǎo)體、氧化物和氮化物的各向同性刻蝕，以及使用PECVD沉積致密層。此外，自由基的各向同性特性為去除高摻雜光刻膠和遠程腔室清潔提供了的優(yōu)勢。

類型：遠程等離子體源。

應(yīng)用：適用于等離子體刻蝕和沉積過程。

耦合尺寸：KF 40。

材料：介電材料為藍寶石（Saphir）。

電源電壓：名義電壓為 230 / 208 伏特。

輸出功率：連續(xù)波（CW）下為 3000 瓦特。

頻率：2450 兆赫茲。

MA3000C-403BB 的尺寸緊湊，設(shè)計用于快速且簡便地集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。它還具有專力的 R3T 設(shè)計，優(yōu)化了高吞吐量、長壽命和較低的擁有成本。

型號示例：

MUEGGE等離子體源MA3000C-403BB

MUEGGE磁控管頭MH3000S-229BB

MUEGGE微波發(fā)生器MG030KG-511KE

MUEGGE微波頭MH010KS-215BZ

MUEGGE微波頭MH010KS-250BF

MUEGGE等離子體源MA1250C-003BC

MUEGGE磁控管1200006

MUEGGE磁控管1200033

MUEGGE自動調(diào)諧器MW2035H-230EC

MUEGGE去膠設(shè)備MA1250D-112BB

德國MUEGGE MA3000C-403BB等離子體源適用于刻蝕沉積過程