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熱式氣體質(zhì)量流量計在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這樣的橋式方式制作有利于傳感器，使動態(tài)響...
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