氦檢質(zhì)譜漏儀的原理氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。重要技術(shù)規(guī)范測量范圍和響應(yīng)時間是檢漏儀的兩個重要的參數(shù)。測量范圍用小和可檢漏率限定。小可檢漏率用靈敏......

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氦檢質(zhì)譜漏儀的原理

氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。

檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。

重要技術(shù)規(guī)范

測量范圍和響應(yīng)時間是檢漏儀的兩個重要的參數(shù)。

測量范圍用小和可檢漏率限定。

小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率?？蓹z漏率依賴于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見下面的說明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀內(nèi)部的多級高阻抗輸入開關(guān)放大器也能提高檢漏儀測量大漏的能力。在實際的檢漏操作過程中特別是查找漏點的時候，響應(yīng)時間十分重要。該時間指從用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀顯示測量值所用的時間。電子信號調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應(yīng)時間是總響應(yīng)時間的重要組成部分。對于檢漏儀來說，電氣系統(tǒng)的響應(yīng)時間遠小于1秒。

檢漏設(shè)備對氦的有效抽速決定了氦氣通過漏孔進入檢漏儀的時間（如果檢漏設(shè)備沒有輔助抽空的系統(tǒng)，檢漏儀內(nèi)置的真空泵的大小會影響系統(tǒng)的響應(yīng)時間）。檢漏系統(tǒng)的響應(yīng)時間可根據(jù)下面的簡單公式計算：

氦響應(yīng)時間微信截圖_20180905110732.png

(達到實際漏率95%的時間)

其中 V = 試驗對象容積

S_He= 檢漏系統(tǒng)對氦的有效抽速。

用標準漏孔校準檢漏儀

檢漏工藝要求準確地區(qū)分漏與不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標準漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設(shè)備的基準。為了獲得準確的漏率數(shù)據(jù)，必須使用標準漏孔對校準檢漏儀進行校準。

萊寶真空可以提供采用不同原理設(shè)計的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標準漏孔。所有標準漏孔的漏率都可以追溯到PTB（聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會）和

DAKKS認證認可的標準。根據(jù)客戶的要求，每個氦標準漏孔都可以提供由DAkkS認證認可委員會頒發(fā)的校準證書。校準工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準實驗室完成。

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PHOENIX L320i Fab是移動式檢漏系統(tǒng)，為需要高清潔度的室內(nèi)運行設(shè)計。PHOENIX L300i MODUL用作氦檢漏設(shè)備，前級真空泵采用SCROLLVAC SC 30DL。

PHOENIX L320i Fab的兩個主要元件安置在外觀美觀、節(jié)約空間的底盤內(nèi)。為了有效抑制微粒散發(fā)，前級真空泵安置在密封箱內(nèi)，空氣從底部（風(fēng)扇）進入。密封箱的側(cè)板易于拆除。PHOENIX L320i Fab配有各種附件，如氣瓶架、吸槍掛鉤和電源線以及前級真空泵的開關(guān)。

客戶得益

- 設(shè)計美觀的移動式檢漏儀

- 結(jié)構(gòu)小巧

- 單獨的前級真空泵，抽速大

- 微粒產(chǎn)生少

- 能迅速準備就緒

- 可以快速定量地檢測出小漏

- 只集成了標準元件：維護簡單

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典型應(yīng)用

如下質(zhì)檢應(yīng)用

- 要求高度清潔的環(huán)境運行的設(shè)備