氦檢質(zhì)譜漏儀的原理氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測(cè)定漏率（通過(guò)漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺(tái)氦流量計(jì)。檢漏儀在工作過(guò)程中首先是對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行抽真空，來(lái)形成壓差使外部氣體穿過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測(cè)量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。重要技術(shù)規(guī)范測(cè)量范圍和響應(yīng)時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數(shù)。測(cè)量范圍用小和可檢漏率限定。小可檢漏率用靈敏......

詳細(xì)介紹

氦檢質(zhì)譜漏儀的原理

氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測(cè)定漏率（通過(guò)漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺(tái)氦流量計(jì)。

檢漏儀在工作過(guò)程中首先是對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行抽真空，來(lái)形成壓差使外部氣體穿過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測(cè)量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。

重要技術(shù)規(guī)范

測(cè)量范圍和響應(yīng)時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數(shù)。

測(cè)量范圍用小和可檢漏率限定。

小可檢漏率用靈敏的測(cè)量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點(diǎn)漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點(diǎn)漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率。可檢漏率依賴于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見(jiàn)下面的說(shuō)明）可以測(cè)量非常大的漏率。此外，檢漏儀內(nèi)部的多級(jí)高阻抗輸入開(kāi)關(guān)放大器也能提高檢漏儀測(cè)量大漏的能力。在實(shí)際的檢漏操作過(guò)程中特別是查找漏點(diǎn)的時(shí)候，響應(yīng)時(shí)間十分重要。該時(shí)間指從用氦氣噴吹試驗(yàn)對(duì)象直到檢漏儀顯示測(cè)量值所用的時(shí)間。電子信號(hào)調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間是總響應(yīng)時(shí)間的重要組成部分。對(duì)于檢漏儀來(lái)說(shuō)，電氣系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間遠(yuǎn)小于1秒。

檢漏設(shè)備對(duì)氦的有效抽速?zèng)Q定了氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的時(shí)間（如果檢漏設(shè)備沒(méi)有輔助抽空的系統(tǒng)，檢漏儀內(nèi)置的真空泵的大小會(huì)影響系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間）。檢漏系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間可根據(jù)下面的簡(jiǎn)單公式計(jì)算：

氦響應(yīng)時(shí)間微信截圖_20180905110732.png

(達(dá)到實(shí)際漏率95%的時(shí)間)

其中 V = 試驗(yàn)對(duì)象容積

S_He= 檢漏系統(tǒng)對(duì)氦的有效抽速。

用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)檢漏儀

檢漏工藝要求準(zhǔn)確地區(qū)分漏與不漏的試用對(duì)象，避免任何失誤。這就需要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設(shè)備的基準(zhǔn)。為了獲得準(zhǔn)確的漏率數(shù)據(jù)，必須使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)校準(zhǔn)檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。

萊寶真空可以提供采用不同原理設(shè)計(jì)的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔。所有標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都可以追溯到PTB（聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會(huì)）和

DAKKS認(rèn)證認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)客戶的要求，每個(gè)氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔都可以提供由DAkkS認(rèn)證認(rèn)可委員會(huì)頒發(fā)的校準(zhǔn)證書(shū)。校準(zhǔn)工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室完成。

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PHOENIX L300i DRY是符合高清潔度要求的緊湊型、便攜式氦檢漏儀。以經(jīng)過(guò)充分驗(yàn)證的PHOENIX L300i 技術(shù)為基礎(chǔ)并配備了無(wú)油泵系統(tǒng)，PHOENIXL300i DRY達(dá)到高清潔度要求，同時(shí)還保持了小巧的外形。

客戶得益

- 干泵系統(tǒng)

- 占地面積小

- 啟動(dòng)速度快

- 響應(yīng)速度極快

- 模塊化設(shè)計(jì)使得維修便利

- 集成式氦污染保護(hù)

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典型應(yīng)用

對(duì)清潔度有著嚴(yán)苛要求的檢漏測(cè)試，例

如：

- 半導(dǎo)體工業(yè)

- 修理或維護(hù)的泄漏檢測(cè)

- 生產(chǎn)半導(dǎo)體元件

- 制藥/醫(yī)療

- 激光

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技術(shù)參數(shù)	PHOENIX L300i DRY
小可檢氦漏率真空模式吸槍模式（實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)）	毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1		≤ 3 x 10-11 < 7 x 10-9
小可檢氫泄漏率真空模式吸槍模式	毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1		≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7
測(cè)量單位（可選）壓強(qiáng)漏率吸槍模式			mbar x l x s-1,	mbar, Pa, atm, Torr Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq
漏率測(cè)量范圍	毫巴x升x秒-1			1 x 10-11 to 1 x 10-1
測(cè)量范圍				11 decades
入口高壓力	毫巴(托)			15 (11 25)
抽真空期間的抽速（氦）
50 Hz立方米x小時(shí) - 1（立方英尺/分鐘） 60 Hz立方米x小時(shí) - 1（立方英尺/分鐘）				1 6 (0 94) 1 8 (1 06)
入口抽速（氦） “粗檢"模式“精檢"模式“超精檢"模式		升/秒升/秒升/秒		0 02 0 4 > 3 1
漏率信號(hào)時(shí)間常數(shù)（達(dá)63%終值）		秒		< 1
檢漏儀啟動(dòng)時(shí)間		分鐘		< 2
質(zhì)譜儀				180°扇形磁場(chǎng)
離子源				2個(gè)燈絲：銥/氧化釔
可檢測(cè)的質(zhì)量數(shù)		位		2, 3 和4
入口		DN		25 ISO-KF
尺寸（寬x高x深）				495 x 457 x 314
重量		千克(磅)		35 5 (78 4)
語(yǔ)言			英語(yǔ)、德語(yǔ)、中文、日語(yǔ)（片假名）、俄語(yǔ)、法語(yǔ)、
			意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、波蘭語(yǔ)和朝鮮語(yǔ)

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訂貨信息	PHOENIX L300i DRY
		產(chǎn)品號(hào)
PHOENIX L300i DRY
歐洲版 230V，50/60赫茲,帶集成標(biāo)準(zhǔn)漏孔TL		250001V01
美國(guó)版 115 V，60赫茲,帶集成校準(zhǔn)漏孔TL7		251001V01
日本版 100 V，50/60赫茲,帶集成校準(zhǔn)漏孔TL7		251101V01
iPad 有線遙控單元（包括L300i App和連接線）		252005V02
iPad 無(wú)線遙控單元（包括L300i App和無(wú)線模塊）		252005V01
iPad固定器PHOENIX L300i		252007V01
條形碼掃描儀iPad PHOENIX L300i		252008V01
iPad臺(tái)架		252009V01
iPad鎖		252010V01
分流系統(tǒng)(115-230 V)		140 20
PC軟件LeakWare		140 90
其他附件參見(jiàn)“PHOENIX L300i、PHOENIX L300i
DRY和PHOENIX L300i MODUL附件"部分。