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所 在 地合肥市
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更新時間:2023-11-21 09:22:53瀏覽次數(shù):326次
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此款設備將實驗級別的升華機進出料端均對接手套箱,手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟能起到防腐作用,半導體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異,對于材料進行提純,參數(shù)準確,工藝可靠穩(wěn)定,實驗結(jié)果表明,單次升華可大幅度降低有機材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度,將材料的純度提升一至三個數(shù)量級。整個操作過程材料與大氣隔絕,避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染,是制備高純度半導體前驅(qū)體及相關材料的。
參數(shù):
型號 | BOF-5-100 |
額定功率 | 6KW |
工作溫度 | 600℃ |
推薦升溫速率 | >10℃/分鐘 |
爐管尺寸 | 外徑φ100x1200mm |
加熱區(qū)長度 | 100+200+200+200+100mm |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 進口KTL電阻絲 |
分子泵抽速 | 250L/s |
機械泵抽速 | 16L/s |
爐體尺寸(長*寬*高) | 1550*650*1260mm |
極限真空 | 5x10^-4Pa |
手套箱 | 左右各配置一臺單工位,1220*750*900mm |
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