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安徽貝意克設備技術有限公司
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半導體前驅(qū)體提純儀/藥品提純儀/去金屬離子提純儀(試驗級)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地合肥市

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更新時間:2023-11-21 09:22:53瀏覽次數(shù):326次

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此款設備將實驗級別的升華機進出料端均對接手套箱,手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟能起到防腐作用,半導體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異,對于材料進行提純,參數(shù)準確,工藝可靠穩(wěn)定,實驗結(jié)果表明,單次升華可大幅度降低有機材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度,將材料的純度提升一至三個數(shù)量級

  此款設備將實驗級別的升華機進出料端均對接手套箱,手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟能起到防腐作用,半導體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異,對于材料進行提純,參數(shù)準確,工藝可靠穩(wěn)定,實驗結(jié)果表明,單次升華可大幅度降低有機材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度,將材料的純度提升一至三個數(shù)量級。整個操作過程材料與大氣隔絕,避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染,是制備高純度半導體前驅(qū)體及相關材料的。

 

參數(shù):

型號

BOF-5-100

額定功率

6KW

工作溫度

600

推薦升溫速率

>10/分鐘

爐管尺寸

外徑φ100x1200mm

加熱區(qū)長度

100+200+200+200+100mm

控溫精度

±1

加熱元件

進口KTL電阻絲

分子泵抽速

250L/s

機械泵抽速

16L/s

爐體尺寸(**)

1550*650*1260mm

極限真空

5x10^-4Pa

手套箱

左右各配置一臺單工位,1220*750*900mm

 

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