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歐萊迪升華儀BOF-6-130指標(biāo)規(guī)格
項(xiàng)目	組成系統(tǒng)部件	分項(xiàng)明細(xì)	品牌及規(guī)格	部件明細(xì)	規(guī)格參數(shù)
升華爐	設(shè)備主體系統(tǒng)	設(shè)備整體尺寸及布局	歐萊迪/定制型	設(shè)備外形布局	L型
				長度	長≤2700mm
				寬度	寬≤1600mm
				高度	高≤1800mm
				部件順序	石英外管-過濾網(wǎng)-主閥門-冷阱-分子泵
		石英管	太平洋/Φ130025005mm	石英外管尺寸規(guī)格設(shè)計(jì)	外管直徑1300mm,長度2500mm，厚度5mm
				石英外管連接方式	凹槽內(nèi)嵌式，凹槽高度＞5mm（詳見附圖）遠(yuǎn)端接口帶滑軌
		真空法蘭及腔體	歐萊迪/定制型	真空腔體材質(zhì)	亮面不銹鋼鋼管 ( SUS 304 )
		保護(hù)系統(tǒng)	歐萊迪/定制型	過濾網(wǎng)	單層金屬濾網(wǎng)
					簡易拆卸，易清潔保養(yǎng)
				冷阱	真空隔層式冷阱設(shè)計(jì)
					易拆、易清潔保養(yǎng)（手能伸入冷阱內(nèi)）
					不銹鋼 / 內(nèi)外均亮面拋光
					單體外徑180-260mm
		設(shè)備基座	歐萊迪/定制型	設(shè)備基座，機(jī)身材質(zhì)	采用『方管骨架』基座，底部附活動(dòng)輪及水平調(diào)整腳，亮面不銹鋼作為臺面 ( SUS 304 )
				設(shè)備基座高度（加熱爐以下）	高度≤ 800mm
				基座門板	易拆卸蓋板，冷板噴塑
	高溫爐系統(tǒng)	熱場模塊	阿爾塞（日本）/定制型	爐體	上下各6段，12點(diǎn)檢測溫度
					每段加熱區(qū)長度設(shè)定=200+200+400+200+300+200mm
					加熱段之間隔斷尺寸設(shè)定= 10mm
					加熱爐兩側(cè)外殼距離外管連接處＞100mm
				溫度	軟件溫控保護(hù)溫=600°C，
					設(shè)備硬件支持溫度＞800°C
				功率控制模塊	主加熱區(qū)：40A
				升溫程序模塊	數(shù)據(jù)可輸出，觸控屏設(shè)置溫度程序
		爐體制動(dòng)系統(tǒng)	歐萊迪/定制型	爐體開關(guān)	電動(dòng)缸開蓋系統(tǒng) （可寸動(dòng)）
					人機(jī)觸控開關(guān)
					實(shí)體控制開關(guān)
		散熱系統(tǒng)	歐萊迪/定制型	散熱風(fēng)扇	耐高溫材質(zhì)
		水電氣要求	/	電	整機(jī)使用電源380V，整機(jī)功率小于22KVA
				水	分子泵冷卻水，流量5L/min
				氣	氣動(dòng)閥，破真空皆用高純N2，壓力0.6Mpa
	人機(jī)控制界面	人機(jī)硬件系統(tǒng)	MCGS	觸碰式屏幕	10.4寸屏
		軟件控制功能	/	功能實(shí)現(xiàn)	觸摸屏可加屏幕鎖，防止誤觸
					整合設(shè)備各氣動(dòng)閥操作，各部件開關(guān)，和加熱系統(tǒng)設(shè)置
					分自動(dòng)模式與手動(dòng)模式
真空系統(tǒng)	真空系統(tǒng)	主泵	中科儀/FF250/1600G	分子泵	FF250/1600G，抽速1600L/s

		高真空抽氣管路	歐萊迪/定制型	主抽管路	抽真空端采用了主管直徑250mm的分子泵直連，確保實(shí)驗(yàn)中高真空的需求，在直徑直管中間加插板閥。
		前級泵	鮑斯/BSV30	機(jī)械泵	抽速30m³/h

		低真空抽氣管路	歐萊迪/定制型	旁抽管路	插板閥的兩端加直徑16mm細(xì)管旁抽支路，防止在初真空時(shí)抽速太大影響分子擴(kuò)散的方向，導(dǎo)致材料不均勻。
		真空度指標(biāo)	/	低真空泵排氣速率	主腔體20min內(nèi)真空度低于2x10^-2torr
				高真空泵排氣速率	開啟分子泵后，40min內(nèi)主腔體真空度低于5x10^-6torr
				保壓測試	到達(dá)極限真空度后（5x10^-6torr），關(guān)閉所有閥門，30min后低于2x10^-2torr