設備特點：

該款設備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、進出氣口及操作控制界面組成，內控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉動速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調節(jié)爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內的真空獲取，進氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

結構與原理：

設備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

1、單端封口小型紅外滑軌爐：

該加熱系統(tǒng)采用制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設計，氣動彈簧支撐結構讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的損耗，還能增強高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內插熱電偶控溫的方式實時顯示石英腔體內部溫度，加熱區(qū)長度為370mm，恒溫區(qū)長度200mm，確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內，為讓樣品在爐管內的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內的溫場均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應區(qū)處在一個密閉的石英腔體內，在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內的溫場均勻性及石英艙體內的潔凈度。

2、電機調速裝置：

伺服電機調速裝置用于控制絲桿的轉動速度，達到控制爐管部分的整體移動速度（含樣件），以此調整快速升降溫的目標速率，電機旋轉速度實時顯示并且精確可控，以獲得精確的移動速度，滿足降溫時工藝參數(shù)要求。

3、主要參數(shù)