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我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。該款設(shè)備是全自動Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動溫區(qū)，連續(xù)可控制溫度及Plasma強(qiáng)度。PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：

1、電子密度高10⁹-10¹²cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。

2、通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡單

1.加熱系統(tǒng)

溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ50mm
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定。
加熱長度	230mm
恒溫長度	100mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

2、PE系統(tǒng)

功率輸出范圍	0W~150W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷

3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm （可根據(jù)用戶要求定制）
準(zhǔn)確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

4、低真空機(jī)組

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V
抽氣速率	10m³/h
極限真空	5X10-1Pa（空載冷態(tài)）
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
進(jìn)氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
連接方式	采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連