艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器快速、精準(zhǔn)地確定穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達(dá)其設(shè)定值，使其能夠抑制管線(xiàn)壓力波動(dòng)，因而不會(huì)影響您的過(guò)程下游。定制化閥門(mén)選配項(xiàng)和出廠(chǎng)PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。

基于壓力的質(zhì)量流量?jī)x表的高性能：

在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時(shí)間
無(wú)需預(yù)熱
四個(gè)過(guò)程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補(bǔ)償
溫度補(bǔ)償
寬動(dòng)態(tài)流量范圍
*詳細(xì)規(guī)格見(jiàn)產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)*

MC系列Alicat氣體質(zhì)量流量控制器是我們的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，其型號(hào)眾多，可測(cè)量高達(dá)5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。

若管線(xiàn)壓力較高（145-305 psig），請(qǐng)選擇MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器。

MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器適用于低壓損應(yīng)用環(huán)境、泄漏測(cè)試，也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動(dòng)響應(yīng)時(shí)間。

若您需要現(xiàn)有熱式質(zhì)量流量控制器的簡(jiǎn)易替換件，MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器將閥門(mén)置于內(nèi)部，使其工藝連接件與SEMI標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度相符。

對(duì)于真用應(yīng)用，MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是在MCE系列的基礎(chǔ)上另增加一氣動(dòng)截止閥。

BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質(zhì)量流量控制器系列，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用和大量訂單環(huán)境。

為滿(mǎn)足生物反應(yīng)器市場(chǎng)的需求，Alicat發(fā)布了世界上專(zhuān)門(mén)用于生物行業(yè)的BIO系列氣體質(zhì)量流量控制器。