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六氟化硫氣體作為一種絕緣氣體，具有無毒、不可燃，以及良好的絕緣特性，其絕緣強(qiáng)度大大高于傳統(tǒng)的絕緣氣體，并具有良好的滅弧性，因此廣泛應(yīng)用于六氟化硫回收裝置。由于SF6氣體價(jià)格昂貴，且在電弧、電火花和電暈放電的作用下，會(huì)分解產(chǎn)生有毒成份。因此SF6氣體回收裝置應(yīng)用時(shí)需要將SF6氣體回收。本裝置就是為了制造和維修SF6回收裝置時(shí)，回收和充加六氟化硫氣體的一種專用設(shè)備。
　　六氟化硫氣體回收裝置的工作流程：
　　1、當(dāng)六氟化硫從一個(gè)氣室抽出時(shí)，氣體流經(jīng)凈化過濾器，通過SF6壓縮機(jī)壓縮冷卻提純，在一定高壓下以液態(tài)形式儲(chǔ)入SF6貯罐。
　　2、使用真空泵把電器開關(guān)中的氣體抽除，真空泵的出口通向大氣。
　　3、經(jīng)凈化和干燥的六氟化硫氣體從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，通過減壓閥的控制，直到氣室內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定的工作壓力。