序號

貨物名稱

技術(shù)參數(shù)及要求

是否進口

數(shù)量

所屬行業(yè)

1

近紅外激光精密操控系統(tǒng)平臺

1.平臺尺寸：約1800*1200*800 mm，臺面材料：約厚4-5 mm的高導磁430不銹鋼面板和碳鋼底板以及全鋼側(cè)板，厚度：約200mm，阻尼方式：寬帶阻尼，精密型專業(yè)阻尼減振器，密封隔離杯：高強度聚合物成型，單獨密封每個螺紋孔，密封孔類型：約19mm深度密封孔，防塵防水防小物件掉落到光學平臺內(nèi)部，蜂窩芯：鋼制蜂窩芯，由高強度蜂窩型薄鋼板垂直粘接后，相互組合而成，整個平臺采用鋼-鋼粘接成型，提高熱穩(wěn)定性，平面度：優(yōu)于0.1mm/m²，臺面粗糙度：粗糙度優(yōu)于0.8µm，變形量：優(yōu)于2µm/m²，固有頻率：＜5~7 Hz。

2.激光器及控制器單元：

1）中心波長: 1651nm，波長精度：+/-1nm，最大電流：225mA，溫控電流：≤1A，溫控電壓：≤2V，輸出功率：＞15mW，封裝類型：蝶形14針引腳封裝，光纖類型：PMF，連接器類型 : FC/APC；控制器：最大輸出電流：≥500mA電流源噪聲：≤1.0µA，電流分辨率：≤10µA，電流精度：≤±0.1mA，熱穩(wěn)定性：<10 ppm/°C，輸出功率：≥36W，溫控穩(wěn)定性：≤0.0005°C/°C，通訊接口：至少有GPIB，RS-232和以太網(wǎng)可選。

2）中心波長: 1600nm，波長精度：+/-1nm ，最大電流：225mA，溫控電流：≤1A，溫控電壓：≤2V，輸出功率：＞20mW ，封裝類型：蝶形14針引腳封裝，光纖類型：PMF，連接器類型 : FC/APC?？刂破鳎鹤畲筝敵鲭娏鳎?ge;500mA，電流源噪聲：≤1.0µA，電流分辨率：≤10µA，電流精度：≤±0.1mA，熱穩(wěn)定性：<10 ppm/°C，輸出功率：≥36W，溫控穩(wěn)定性：≤0.0005 °C/°C，通訊接口：至少有GPIB，RS-232和以太網(wǎng)可選。

3.放大器：范圍：≥1mHz～500 kHz ，動態(tài)保留范圍：≥120dB，電壓輸入范圍：≥10 mV - 1 V，噪聲：≤2.5 nV/√Hz @1 kHz，時基：≥10MHz，相位漂移：<0.002°/°C@＜20kHz，時間常數(shù)：≥1 µs - 30ks，顯示屏：全彩色640×480觸摸屏顯示，數(shù)據(jù)顯示通道數(shù)：≥4個，計算機接口: GPIB，RS232，USB及以太網(wǎng)接口可選

4.波長測量單元：被測激光類型：連續(xù)或者準連續(xù)（重頻＞10MHz），波長范圍：MIR: 1.5-12 μm，精準度：±0.2 ppm，± 0.0002 nm @ 1000 nm，± 0.002 cm-1 @ 10,000 cm-1，± 60 MHz @ 300,000 GHz，重復精度： 0.1 ppm (1 pm @ 10 μm)，校準： 內(nèi)置穩(wěn)頻HeNe激光器，測試速率：2.5 Hz，預熱時間：＜15mins，最小輸入功率：MIR: 120 - 925 μW。

5.斬波器1個：頻率：0.01Hz，切割范圍：1/2 to 1/15x，頻率漂移：<20 ppm/'C，輸入輸出連接器：BNC，顯示器類型菜單控制：240×124 Pixel LCD，工作溫度10-40°C。

6.光纖光開關(guān)（含驅(qū)動器）：1*2開關(guān)，1550nm，雙級，標準，尾纖SMF-28, 帶900µm保護套管，長1米，F(xiàn)C/APC接頭。開關(guān)頻率2KHz，工作波長：1520-1580nm，插損：<1dB, 典型0.7dB，回損：典型55dB，開關(guān)速度：<10ps。

7.數(shù)據(jù)采集器：最大單端模擬輸入通道數(shù)量: 32，模擬輸入分辨率: 16bits，最大采樣率: 2MS/s，模擬輸出通道數(shù)量: 4，最大更新速率: 2.86MS/s，總線連接器: USB 2.0，計數(shù)器/定時器數(shù)量: 4，雙向數(shù)字通道數(shù)量: 48，模擬輸入FIFO緩存大小: 2047 樣本，同步采樣: 否，模擬輸入絕對精度: 1660 µV。

8.信號發(fā)生單元*2：1）頻率160M；2）采樣率:2.4 GSa/s，3) 脈沖頻率：1μ~60MHz，占空比: 0.001 ~99.999可調(diào),3) 垂直分辨率:16 bit, 4）三角波：1μ~5MHz，5）8 位高精度頻率計，可測試 0.1Hz~400MHz 的頻率范圍，6）提供功能強大的波編輯功能，支持手動、直線、坐標、 方程式繪圖等多種繪圖方式，方便、快捷地生成波形。

否

1套

工業(yè)

2

多通吸收池

1.基長：50cm

2.尺寸：約10cm*10cm*55cm

3.工作模式：雙光路工作模式

4.有效光程：30m、70m

5.波長范圍：400nm~9μm

6.出入光模式：單端輸入輸出

7.工作溫度：-10℃~40℃

8.工作濕度：5~98%RH  無凝露

9.儲存溫度：-20℃~70℃

10.材質(zhì)：鋁合金主體，玻璃腔體，不銹鋼支架

11.進出氣接口:1/4卡套接口

12.體積：2L。

否

1臺

工業(yè)

3

太陽追蹤儀

1.精度：跟蹤精度優(yōu)于0.01°

2.工作模式：圖像精跟蹤模式及靜默粗跟蹤模式結(jié)合

3.重量：＜3kg

4.工作波長：近紅外光纖接收太陽光工作波長范圍（1.26~1.8μm）

5.軟件：帶控制軟件

6.尺寸：約20cm*15cm*20cm

7.工作溫度：-10℃~50℃

8.工作濕度：5~98%RH  無凝露

9.儲存溫度：-20℃~70℃

10.材質(zhì)：鋁合金主體、三角支撐架

11.供電電壓：12V DC

12.轉(zhuǎn)動角度：水平360°，俯仰-90°~+45°

13.電機控制步長：0.001875°

14.圖像：圖像、質(zhì)心實時顯示

否

1臺

工業(yè)

4

小巧型勻膠機

1.轉(zhuǎn)速范圍：100-9999 RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

2.大單步步長3000S，旋轉(zhuǎn)時間分辨率1S

3.加速度可控范圍：100-9999RPM/S

4.可處理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圓晶底物

5.液晶文本顯示，可提供中英文操作界面

6.快速運行和程控運行可選，多5組5步的程控操作模式

7.100W直流無刷電機，寬電壓適用：AC100-230V輸入

8.標配三種直徑規(guī)格真空載物盤(直徑10mm、25mm、2英寸)

9.鋁合金著色氧化外殼，耐腐蝕開模內(nèi)腔

否

1臺

工業(yè)

5

通風櫥

1.結(jié)構(gòu)組合：采用三段組合式柜體，上部柜體（通風柜），中間（操作臺面），下部柜體（內(nèi)含單側(cè)獨立抽氣式組成柜及另側(cè)獨立水、電、管線系統(tǒng)容納柜設(shè)計，尺寸：約1200*850*1500mm

2.照明：采用30W日光燈

3.工作面風速：0.4～0.6m/s

4.電器配件：萬用插座（220V/10A）、日光燈、風機開?？刂?/font>

否

1套

工業(yè)

6

1200℃微型開啟式管式爐

1.采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷系統(tǒng)

2.爐膛材料采用高純氧化鋁纖維

3.可以作為模塊，DIY ALD CVD PVD 蒸發(fā)爐、回轉(zhuǎn)爐等

4.爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層

5.最高溫度: 1200℃（≤30min）

6.連續(xù)工作溫度: 1100℃

7.推薦升溫速率:≤10℃/min

8.加熱區(qū)：200mm

9.熱偶：K 型熱偶

10.加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金

11.電壓：220V, 額定功率：1.2KW

12.石英管口徑：Φ50 x 600mm

13.真空度：10-2torr (采用機械泵)

14.安裝有一機械壓力表，測量范圍為-0.1～0.15MP

15.配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封

否

1臺

工業(yè)

7

1200℃開啟式管式爐

1.設(shè)有開門斷電功能

2.采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷系統(tǒng)

3.爐膛材料采用高純氧化鋁纖維

4.爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層

5.工作溫度：1200℃（＜0.5 小時）連續(xù)工作溫度：1100℃

6.建議加熱速率：≤10℃/min

7.加熱區(qū)長度：400mm

8.加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金

9.電壓：AC220V 50Hz

10.功率：3KW

11.熱電偶：K型

12.配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封

13.石英管口徑可選：Φ50 x 1000mm 和  Φ80 x 1000mm各一個

否

2臺

工業(yè)

8

等離子體清洗機

1.腔體材質(zhì)：不銹鋼表面處理

2.電源：AC 220V

3.工作電流：整機工作電流不大于 5A（含真空泵）

工作功率：整機工作功率不大于900W（含真空泵）

★4.電源功率：50-600W 連續(xù)可調(diào)（全智能觸屏操作界面）（投標文件中提供實物圖片或產(chǎn)品彩頁或截圖或產(chǎn)品說明書掃描件）

5.頻率：40KHz

6.頻率偏移量：＜0.2KHz

7.特性阻抗：50 歐姆，自動匹配

8.腔內(nèi)壓力：1kpa-100kpa

9.氣體路數(shù)：高精密4路浮子流量計，采用4路氣體設(shè)計，可單獨或混合2-4種氣體清洗

10.氣體流量：10-100mL/min（可調(diào)）

11.過程控制：全自動控制與手動（PLC人機界面）

12.清洗時間：1-900 s可調(diào)

13.清洗功率大?。?/span>50W-600W連續(xù)可調(diào)

14.內(nèi)腔尺寸：約ø150mm*270mm

15.外形尺寸：約500mm*400mm*450mm

16.真空泵：抽速4L/s

17.真空室溫度小于70℃

18.冷卻方式：強制風冷

否

1臺

工業(yè)

9

全自動離子濺射儀

1.工作原理:直流濺射

2.輸入電壓:220V/50Hz

3.濺射電壓:2400V

4.濺射時間:1-999s

5.最大功率:500W

6.靶材尺寸:Ø57*0.12mm（Au）

7.可選靶材:金、鉑、銀、銅等常用金屬靶材

8.真空泵:直連式兩級旋片式真空泵，抽速1.1L/s

9.真空室:Ø130*130mm 高強度玻璃

10.極限真空:≤1Pa（電阻式真空規(guī)）

11.抽氣節(jié)拍:< 90s

12.樣品杯:可放置Ø90樣品1個，Ø25樣品4個，Ø15樣品6個

13.樣品室進氣:自動，高精度微量進氣閥

14.進氣接頭:Ø4 快擰接頭（外徑 4mm，內(nèi)徑 2.5mm 氣管）

15.工作電流:2-30mA 任意可調(diào)

16.顆粒大小:20-40nm

17.全智能觸屏操作界面

否

1臺

工業(yè)

10

四探針測試儀

1.卡盤臺采用便捷的調(diào)節(jié)模式，X/Y方向的行程是:4英寸*4英寸，高精度并帶有自鎖阻尼

2.XY軸移動絲桿需要有外殼保護裝置，方便維護保養(yǎng)

3.雙針座平臺

4.卡盤角度可旋轉(zhuǎn)微調(diào)，調(diào)節(jié)精度0.01°

5.設(shè)備需帶自適應減震結(jié)構(gòu)有隔震底座可增強彈性支持

6.卡盤平整度：±10µm

7.真空吸附方式：中心吸附孔+外圍多孔吸附

8.卡盤夾具皆有高漏電精度要求

9.顯微鏡清晰及高倍率放大要求

10.CCD分辨率達到1920*1080；幀率60fps

11.探針座磁力吸附，帶磁力開關(guān)；X-Y-Z 方向大滾輪方式，移動行程分別為14mm；移動分辨率0.6μm/度

12.數(shù)字源表要求：5英寸高分辨率電容觸摸屏圖形用戶界面（GUI），電壓量程: 20mV–200V，電流量程：10nA–1A，基本準確度：0.012%，分辨率：6½數(shù)位，寬帶噪聲：2mVrms（典型值），掃描類型：線性，對數(shù)，雙線性，雙對數(shù)，定制源存儲器，讀數(shù)緩存>250,000，>3000讀數(shù)/秒，SCPI 和TSP 腳本編程模式，接口：GPIB,USB, 以太網(wǎng)(LXI)

13.上位機1臺：配 I-V 表征器應用軟件

13.1永久浮動許可證；

13.2自動識別設(shè)備，可以迅速設(shè)置測試，獲得被測器件的實際數(shù)據(jù)。通過立即繪制數(shù)據(jù)圖，在讀表中快速提供數(shù)據(jù)的統(tǒng)計匯總，查看數(shù)據(jù)；

13.3能夠獨立控制最多8臺儀器，設(shè)置多臺儀器測試；

13.4可以保存測試配置，迅速復現(xiàn)測試；

13.5內(nèi)置示圖和比較工具，可以迅速發(fā)現(xiàn)測量異常信號和趨勢；

13.6可以以隨時可用的格式導出數(shù)據(jù)，編制報告，進一步進行分析。

否

1套

工業(yè)

11

半導體材料電阻測試儀

1.超大液晶人性化操作界面，多種測量參數(shù)可選，測量數(shù)據(jù)自動保持功能，超快測量并顯示讀數(shù)，量程有自動和手動雙模式，檔號顯示及檔計數(shù)功能，兼容多種材料測量，專業(yè)的通訊接口可以與PC進行數(shù)據(jù)通訊及對儀器的遠程控制

2.顯示器：高清 LCD 液晶顯示，尺寸≥4.3英寸

3.電阻率：1µΩ?cm－2MΩ?cm

4.方塊電阻：10µΩ/sq－2MΩ/sq，模擬電阻：1µΩ－2MΩ

5.精度：電阻率、方阻：4%；模擬電阻：0.1%

6.量程方式：自動，保持

7.測量速度：快速:10 次/秒，中速: 5次/秒，慢速: 2次/秒

否

1套

工業(yè)

12

示波器

1.模擬通道帶寬：100MHz；4通道

2.實時采樣率：2GSa/s

3.垂直分辨率：12-bit

4.低本底噪聲，全帶寬下低至70μVrms

5.波形捕獲率最高達500000幀 / 秒（Sequence 模式），120000幀 / 秒（正常模式）

6.支持256級波形輝度及色溫顯示

7.存儲深度最高達200Mpts

8.數(shù)字觸發(fā)智能觸發(fā)：邊沿、斜率、脈寬、窗口、欠幅、間隔、超時、碼型、視頻觸發(fā)（支持 HDTV）、前提邊沿、第 N 邊沿、延遲、建立/保持時間

9.串行總線觸發(fā)和解碼，支持的協(xié)議包括標配的 I2C、 SPI、UART、CAN、LIN

10.分段采集（Sequence）模式，最大可以將存儲深度等分為80000段，根據(jù)采購人設(shè)置的觸發(fā)條件，以非常小的死區(qū)時間分段捕獲符合條件的事件歷史模式（History），最大可記錄80000幀波形

11.數(shù)十種自動測量功能，支持測量統(tǒng)計、Gating 測量、Math 測量、History 測量、Ref 測量。支持對測量參數(shù)的直方圖和趨勢圖統(tǒng)計

12.4 路獨立的波形運算，支持 2M 點 FFT 和 20 多種常用時域運算；支持自定義表達式實現(xiàn)復雜的嵌套運算

13.多種高級數(shù)據(jù)分析和處理功能：搜索和導航、高速模板測試、波特圖、電源分析（選件）、計數(shù)器等

14.尺寸≥10.1 英寸電容式觸摸顯示屏，分辨率≥1024*600

15.豐富的接口：SBUS（Siglent 邏輯分析儀接口）、3個 USB Host、USB Device、LAN、Pass/Fail、 Trigger Out 等

16.支持外接鼠標和鍵盤操作；內(nèi)建的 WebServer 支持 通過網(wǎng)頁控制儀器；支持 NTP（網(wǎng)絡(luò)時間協(xié)議）支持豐富的 SCPI 遠程控制命令，多國語言顯示及嵌入式在線幫助

★17.配備專業(yè)時域信號分析和示波器控制軟件（投標文件中提供實物圖片或產(chǎn)品彩頁或截圖或產(chǎn)品說明書掃描件）

17.1 PC 端進行離線波形數(shù)據(jù)分析, 支持最大2路離線波形數(shù)據(jù)進行分析，支持分析單路離線波形數(shù)據(jù)量達2Mpts

17.2通過控制采集后，可在線讀取遠端的波形數(shù)據(jù)，然后執(zhí)行本地數(shù)據(jù)分析，而不依賴于示波器本身的分析功能

17.3和示波器軟件同平臺，用戶無需擔心軟件的后續(xù)維護，memory數(shù)量：2 ，memory點數(shù)：2M點/通道，Math數(shù)量：2，測量數(shù)量：5，在線控制，最大存儲深度：2M點/通道，功能：解碼，測量，數(shù)學運算，導航，模板測試，光標測量，分析門限，遠端示波器管理。

否

1臺

工業(yè)

13

近紅外光場調(diào)控及精密測量系統(tǒng)

系統(tǒng)主要包含如下：

1）近紅外空間光調(diào)制器 1臺

1.液晶類型：反射式

2.調(diào)制類型：純相位調(diào)制

3.像元大小：8μm

4.像素數(shù)：1920×1080

5.像面尺寸：0.69" （15.36mm×8.64mm）

6.開口率：87%

7.相位范圍：≥2π（1064nm） 穩(wěn)定度RMS≤0.13π 線性度R²≥0.99

8.刷新頻率：60Hz ，響應時間≤30ms

9.數(shù)據(jù)接口：DVI/HDMI

10.損傷閾值：20W/cm²

11.軟件可實時在線調(diào)節(jié)和控制各類光場參數(shù)；SDK 支持多種開發(fā)語言，包括 Labview、C/C++、C#、VB.net、python、Matlab，并提供完整Demon 程序

2）高穩(wěn)定激光器 1臺

1.波長（nm）：1064±1

2.工作模式：CW

3.輸出功率（mW）：500-1000

4.功率穩(wěn)定性（rms，超過4小時）<2%

5.橫向模式TEM00

6.M2系數(shù)<1.2

7.光束發(fā)散，全角(mrad) <1.5

8.光束直徑：1/e2(mm) ~1.5

9.距基板的梁高度(mm)：24.8

3）三維位移臺 2套

1.圍繞系統(tǒng)光軸上的點旋轉(zhuǎn)

2.兩個M3x0.5安裝孔，用于安裝多軸位移臺配件

3.差分測微頭驅(qū)動器，用于手動調(diào)節(jié)

4.載物臺高度112.5mm，兼容6軸位移臺

5.水平、軸向和豎直平移

6.水平和光軸行程: 13mm的滾珠軸承運動

7.豎直行程: 6 mm的撓性運動

8.±5°的俯仰和偏轉(zhuǎn)撓性運動

4）二維掃描振鏡系統(tǒng)1套

1.雙軸大光束掃描振鏡系統(tǒng)

2.梁直徑10mm（最大值）

3.輸入/輸出垂直光束偏移等14.7mm

4.重復性15µrad

5.線性度（50%全行程）99.9%

6.最大機械掃描角度±20.0°（w/0.5 V/deg縮放）

7.帶寬（全行程）25 Hz方波35 Hz正弦波，帶寬（50%全行程）65Hz方波130Hz正弦波

8.小角度（±0.2°）帶寬1kHz，小角度階躍響應400µs

9.模擬位置信號輸入范圍±10V

10.機械位置信號輸入比例因數(shù)1.0V、0.8 V或0.5V/度

11.位置傳感器輸出40-80µA

12.電源：低噪聲線性電源，可減小電干擾，能夠同時為2個伺服驅(qū)動卡供電

5）平場半復消色差物鏡 1個

平場螢石成像物鏡，帶校正環(huán)，60倍，0.85NA，0.31-0.4mm工作距離

6）銦砷化鎵相機1個

1.傳感器類型：InGaAs

★2.光譜范圍：400nm-1800nm（投標文件中需提供實物圖片或產(chǎn)品彩頁或截圖或產(chǎn)品說明書掃描件）

★3.像元尺寸：5.0μm x5.0μm（投標文件中需提供實物圖片或產(chǎn)品彩頁或截圖或產(chǎn)品說明書掃描件）

4.ADC: 12Bit/ 8Bit

5.幀率&分辨率:

8Bit:400fps@640x512、753fps@320 x256 12Bit:212fps@640 x512、400 fps @320 x256

6.硬件圖像緩存: 512MByte

7.轉(zhuǎn)換增益: 42.29e/ADU

8.動態(tài)范圍: 59.7dB

9.讀出噪聲: 176.7e

10.滿井電荷: 173.23ke

11.最大信噪比：52.39dB

12.靈敏度: 121mV

13.暗電流: 383e/s(0℃)510e/s(10℃)638 e /s(20℃)

14.增益范圍: 1x-15x

15.曝光時間范圍: 15μs-60sec

16.快門模式: 全局快門

17.Binning 模式: 軟件 2x2，3x3，4x4

18.數(shù)據(jù)接口: USB3.0

19.數(shù)字 IO: 1路光耦隔離輸入，1路光耦隔離輸出，2路非隔離輸入輸出口

20.濾光片: 400-1800nm(標配)

21.CRA: 2.35度

22.軟件: 完整的SDK開發(fā)包/ToupVicw

23.制冷溫差: 低于室溫25℃

否

1套

工業(yè)

14

▲散射光場波前整形及高分辨顯微成像系統(tǒng)

一、平臺要求

1.臺面尺寸：約2400x1200x800mm，

2.主要材料：高導磁不銹鋼，臺面厚度： 200mm

3.內(nèi)核結(jié)構(gòu)：井字蜂窩焊接，工作臺板厚度：6mm

4.安裝孔：25mm 孔距 M6 螺紋孔，孔精度：±0.03mm，孔距精度：±0.05mm，沉孔精度：±0.05mm，孔垂直度：±1°，高度：800mm，平面度：0.05mm/1000mm，粗糙度：＜0.6μm，

5.隔振方式：空氣彈簧（標配超靜音空氣壓縮機），固有頻率：＜2Hz，自平衡支撐。

二、單模綠光激光器 1臺

1.波長（nm）532±1

2.工作模式CW

3.輸出功率>200 mW

4.功率穩(wěn)定性（rms，超過4小時）<1%

5.橫向模式TEM00

6.M2系數(shù)<1.1

7.孔徑1/e2處的光束直徑(mm) ~1.5

8.光束發(fā)散，全角(mrad) ~1.5

9.距基板的梁高度(毫米)24.8mm

三、科研相機2個

1.SCMOS小型科研級相機

2.2/3英寸制式，黑白sCMOS傳感器，1920 x 1080像素(210萬像素)；16bit

3.高量子效率(600 nm處約為61%)

4.曝光時間：0.029 ms to 7767.2 ms in ~0.03 ms Increments

5.無風扇設(shè)計，減少暗電流，不會導致振動和圖像模糊現(xiàn)象加劇

6.讀出噪聲中值小于1 e-

7.觸發(fā)和B門曝光模式

8.卷簾快門，帶等效曝光脈沖(EEP)模式，用于同步光源

9.USB 3.0接口

10.支持正版操作系統(tǒng)

11.SDK和編程接口支持：C、C++、C#、Python和Visual Basic.NET API；LabVIEW、MATLAB和µManager第三方軟件

12. 1/4"-20螺孔，用于接桿安裝

四、顯微物鏡套件 2套

1. 復消色差物鏡，倍率 100X，工作距離6.0 mm，數(shù)值孔徑 0.70，入瞳2.8mm，分辨率 0.5 µm，工作波長：可見/近紅外；

2.物鏡架，RMS(4/5”-36)標準物鏡；角度調(diào)節(jié)螺紋副：M6×0.25；俯仰偏擺調(diào)節(jié)范圍：±4°；

3.傅里葉變換透鏡：Φ50.8；f300

五、可見波段空間光調(diào)制器  1臺

1.面板分辨率：1920 x 1200(WUXGA)

2.工作波長：400 – 850nm

3.像素單元：8µm

4.填充因子：>92%

5.高速幀率/刷新率 60Hz

6.相位調(diào)節(jié)范圍：2π

7.典型調(diào)制范圍2π at 633nm

8.相位閃爍(RMS)b< 0.01%

9.支撐外觸發(fā)

六、功率計套件 1套

含數(shù)字功率和能量表頭，硅探頭，400nm - 1100nm，50nW – 50mW，激光防護鏡  1個OD5+@190-380nm；OD2+@400-532nm；可見光透過率：21%

七、電控精密三維位移臺 1套

1.2個20mm行程一維平移臺+1個10mm行程垂直臺+控制器+I/O線纜+控制手柄

2.平移臺參數(shù)：行程：20mm，光柵尺傳感器分辨率：2nm，最小步距：2nm，雙向重復精度：±100nm，直線度/平面度：±2μm，俯仰/偏擺：±150urad，最大推拉力：5N，斷電加持力：6N，空載最大速度：8mm/s，最大推力最大速度：5mm/s，任意方向最大負載：0.5KG；臺面尺寸約：45*45*14mm，自重：約75g

3.升降臺參數(shù)：行程：10mm，光柵尺傳感器分辨率：2nm，最小步距：2nm，雙向重復精度：±100nm，直線度/平面度：±2μm，俯仰/偏擺：±150urad，最大推拉力：5N，斷電加持力：6N，空載最大速度：8mm/s，最大推力最大速度：5mm/s，任意方向最大負載：0.5kG,臺面尺寸約：45*45*38mm，自重：約220g

4.控制器和手柄：三維單獨控制，含 3軸I/O線，長度約2m

八、消偏振分光棱鏡 1個

已安裝42×42×40mm同軸立方體外殼, 工作波長 450-650nm, 分光比 T/R：50/50 ± 5%±10%，吸收<15%

否

1套

工業(yè)

15

單光束光鑷系統(tǒng)

基礎(chǔ)版單光束光鑷系統(tǒng)，用于捕獲并操控粒子移動，通過CMOS相機實時顯示粒子運動情況

一、光源模塊：激光模組，安裝于三維調(diào)節(jié)架；

1.可見光

2.自由空間輸出，輸出準直度可調(diào)

3.輸出光功率>30mW

4.工作溫度范圍10 ℃-30 ℃

5.功率穩(wěn)定性<3%

6.帶電源適配器

二、向色鏡+物鏡：

1.650 nm左右短波通二向色鏡，安裝于同軸立方中

2.物鏡：100x，油浸，NA1.25，RMS螺紋

三、CMOS模塊：

1.CMOS黑白相機

2.GigE接口

3.2592×1944，單像素大小2.2μm×2.2 μm

4.消色差透鏡+2片短通二向色濾光片

四、照明模塊：

1.白光LED

2.最大輸出光功率3W，帶電源適配器

3.0-40 ℃

4.帶準直和會聚元件

五、運動控制：

3軸側(cè)驅(qū)位移臺

1.臺面尺寸：約65×65 mm，

2.行程：13mm

3.直線度（豎直、水平方向）：<3μm

4.移動平行度：<15μm

5.微分頭最小刻度：10μm

6.帶樣品夾持架

六、樣品制備工具：

4μm二氧化硅球、4μm聚苯乙烯微球、剪刀、鑷子、載玻片、蓋玻片、雙面膠、吸管

七、光路調(diào)試工具：用于光路高度、光路水平、光路準直調(diào)節(jié) ，面包板及把手：面包板300×450mm，雙把手（含安裝服務）

否

1套

工業(yè)

16

頂砧壓機

1.對稱型

2.外徑：47.65mm

3.高度：34.43mm

4.開角：60°

5.工作距離：18mm

6.溫度范圍：0-550℃

7.墊塊：圓孔，條孔

否

1套

工業(yè)

17

壓砧

1.臺面直徑：300µm

2.適合拉曼和PL光譜測試

否

1臺

工業(yè)