(超)純水電導率測量校準裝置示意圖及國際輔助比對結(jié)果
 

　　電導率是國際單位制導出單位。電導率以溯源至國際單位制基本單位的電導率計量基準裝置復現(xiàn)的量值為源頭，通過標準物質(zhì)和計量標準等實現(xiàn)量值傳遞。CMC是米制公約國國際互認的校準與測量能力。國際計量委員會(CIPM)通過組織關(guān)鍵國際比對和國際同行評審量化各成員單位的校準與測量能力，從而保證各成員單位CMC數(shù)據(jù)庫科學性、有效性和國際可比性，進而確保校準與測量證書國際互認的有效性。
 

　　據(jù)悉，中國計量院是國際上少數(shù)幾家具備研制(超)純水電導率測量校準裝置能力的國家計量院之一。中國計量院經(jīng)過多年研究，自主設計了基于絕對測量方法的雙內(nèi)電極同軸圓筒電導池，全面提升(超)純水電導率國家測量校準能力水平。
 

　　2018年至2020年，中國計量院參加由德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院主導的Euramet.QM-S12國際輔助比對，各比對量值點均獲得國際等效一致。量值范圍0.055 uS/cm ~ 5 uS/cm、擴展不確定度0.2% ~ 1.1%，比對報告發(fā)表在國際計量領域權(quán)威期刊METROLOGIA。2019年和2024年，(超)純水電導率測量校準裝置的技術(shù)能力均順利通過國際同行評審。2024年，(超)純水電導率量值的CMC經(jīng)國際計量組織評審后獲得國際互認，并于9月30日在BIPM公布。
 

　　目前，全球獲得超純水電導率量值(0.055 uS/cm)CMC國際互認的國家計量院僅有4家，包括中國計量院、德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院、丹麥國家計量院和捷克國家計量院。此次發(fā)布可為我國電子、醫(yī)藥、食品、發(fā)電等領域(超)純水電導率的精密測控提供關(guān)鍵計量技術(shù)支撐，助力我國半導體器件、集成電路、電子器件和醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。(文/圖：王海、宋小平)