【儀表網(wǎng) 行業(yè)標準】中國質(zhì)量檢驗協(xié)會批準立項和組織制定的《金剛石制備 微波等離子體化學氣相沉積設(shè)備》團體標準，已組織參編單位和相關(guān)專家進行多次討論和修改，并據(jù)此形成上述團體標準征求意見稿。按照《中國質(zhì)量檢驗協(xié)會團體標準管理辦法》的相關(guān)規(guī)定和要求，現(xiàn)對上述團體標準制定公開征求意見，意見反饋郵箱：zhubaocgc@c315.cn，截止時間2023年10月26日前。
本文件按照GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。
本文件規(guī)定了用于制備金剛石的微波等離子體化學氣相沉積設(shè)備的術(shù)語和定義、縮略語、設(shè)備原理及分類、一般要求、設(shè)計要求、安全性要求、運行要求、安全聯(lián)鎖、技術(shù)參數(shù)、檢驗及測試、檢驗規(guī)則、標志和包裝等。
本文件適用于金剛石制備用途的微波模式為單模、多模的微波等離子體化學氣相沉積設(shè)備。
設(shè)備原理：
設(shè)備由微波源產(chǎn)生微波，經(jīng)波導管傳輸至微波模式轉(zhuǎn)換器，微波模式轉(zhuǎn)換后，微波進入諧振腔內(nèi)形成強電場區(qū)域，將輸入諧振腔內(nèi)的反應氣體在強電場作用下，激發(fā)成等離子體產(chǎn)生化學反應，沉積金剛石膜。
分類：
MPCVD設(shè)備根據(jù)諧振腔內(nèi)微波模式，可分為：單模、多模兩種類型，兩種微波模式激發(fā)等離子體產(chǎn)生化學反應沉積金剛石膜的原理一致。設(shè)備結(jié)構(gòu)根據(jù)微波饋入方式、腔內(nèi)微波模式、等離子體狀態(tài)、材料制備等，要求不同結(jié)構(gòu)不同，其具體結(jié)構(gòu)由各廠家自行規(guī)定。
使用安全要求：
由于MPCVD設(shè)備的沉積工藝中可能使用易燃、易爆或有毒的氣體，為了保證設(shè)備安全與人身安全，特提出以下要求:
a) 設(shè)備運行環(huán)境中應配有相應的易燃、易爆氣體監(jiān)測設(shè)備。
b) MPCVD 設(shè)備真空系統(tǒng)、微波系統(tǒng)、氣體管道、連接機構(gòu)、安全聯(lián)鎖裝置、氣瓶柜等關(guān)鍵部件，都應安全可靠工作,如有裝置失效或功能異常時禁止開機使用。
c) 設(shè)備安裝后應進行氣體泄漏測試，保證運行設(shè)備無泄漏。
d) MPCVD 設(shè)備的氣密性、極限真空度未達到本文件規(guī)定的技術(shù)要求時，應排除漏點，使設(shè)備滿足要求后開機使用。
e) 應定期檢查設(shè)備微波泄漏功率密度是否符合要求。
f) 當采用氧氣作為催化劑時，應確認其混合氣體的比例在安全范圍內(nèi)，防止爆炸。
g) 氣體管路安裝的密閉柜體應有內(nèi)徑Ф≥40mm 的排氣端口，防止可燃氣體累積導致爆炸。
h) 設(shè)備應有固定裝置，防止地震或其他意外情況時設(shè)備傾倒。
i) 設(shè)備運行環(huán)境應有良好的廢氣排放措施，場所排廢通道內(nèi)徑Ф≥50mm，如反應氣體為有毒有害的危險氣體，或反應生成物中含有有毒有害物質(zhì)，需加裝報警裝置和尾氣處理裝置與設(shè)備配套使用。
試驗儀器：
試驗設(shè)備、工具，應經(jīng)專業(yè)計量機構(gòu)檢定，并在檢定合格有效期內(nèi)，具體包括：
a) 三坐標測量儀；
b) 高度計；
c) 千分尺；
d) 卡尺；
e) 扭力儀；
f) 水平儀；
g) 數(shù)字視頻顯微鏡；
h) 氦質(zhì)譜檢漏儀；
i) 紅外測溫儀；
j) 兆歐表；
k) 接地電阻測試儀；
l) 耐壓測試儀；
m) 泄漏電流測試儀；
n) 電子天平(分度值0.1mg)；
o) 微波漏能儀(分度值0.01mw/cm2)；
p) 真空計(分度值0.1pa)；
q) 氣壓表(分度值0.05Mpa)。
型式檢驗：
1.有下列情況之一時，應進行型式檢驗：
a) 新產(chǎn)品設(shè)計定型時；
b) 結(jié)構(gòu)、工藝、原材料有重大變化(4M變更)，影響設(shè)備關(guān)鍵性能時；
c) 國家法律法規(guī)或合同要求時；
d) 正常生產(chǎn)滿2年(含)時，后續(xù)每2年(或累積生產(chǎn)一定產(chǎn)量)，應周期性進行型式檢驗。
e) 設(shè)計定型的設(shè)備停產(chǎn)1年后，恢復生產(chǎn)時；
2. 型式檢驗應從準備交付的檢驗合格設(shè)備中，隨機抽取一臺進行測試。
3.型式檢驗項目應為本文件中全部項目。
更多詳情請見附件。
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