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2020
09-10

圖像穩(wěn)定中的大行程壓電偏轉(zhuǎn)鏡
在航天、近空間、航空、地面和海洋平臺等成像過程中，由于平臺振動和擾動等各種影響因素都會使相機(jī)光軸偏移，使目標(biāo)與焦面相對運(yùn)動，在焦面上產(chǎn)生像移，從而會造成成像模糊問題。例如，在地面天文觀測中，由于大氣湍流和望遠(yuǎn)鏡的抖動等原因也會造成望遠(yuǎn)鏡焦平面圖像的隨機(jī)抖動，極大地降低了望遠(yuǎn)鏡的空間分辨率。利用芯明天壓電快速偏轉(zhuǎn)補(bǔ)償鏡，對實時采集的圖象與參考圖象間的相對位移量進(jìn)行補(bǔ)償、實時修正，可在確定的曝光時間內(nèi)得到高分辨率的圖像。P35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是專為大行程偏轉(zhuǎn)補(bǔ)償應(yīng)用而設(shè)計，可使得光束偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)86mr
2020
09-10

封裝壓電陶瓷倒置使用！PSt150/10/100 VS15!
封裝壓電陶瓷倒置使用！PSt150/10/100VS15!在通常情況下，封裝式壓電陶瓷默認(rèn)為正立使用，即移動端在上方，帶載后進(jìn)行垂直方向的升降運(yùn)動控制調(diào)節(jié)。但在特殊情況下，封裝壓電陶瓷也可以橫向或倒置使用，但在這兩種情況下，必須提前告知，在生產(chǎn)時我們會進(jìn)行特殊的裝配。如上圖所示，以PSt150/10/100VS15封裝壓電陶瓷為例，它的標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)中的推力為2300N，拉力為250N，如下所列。技術(shù)參數(shù)型號：PSt150/10/100VS15標(biāo)稱行程：95μm剛度：20N/μm推/拉力：2300/2
2020
09-07

三維壓電偏擺臺用于晶圓表面檢測
半導(dǎo)體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求，一般是要求高效準(zhǔn)確，能夠捕捉有效缺陷，實現(xiàn)實時檢測。將晶圓放于精密光學(xué)平臺上，選擇合適的入射光照射于晶圓表面，晶圓隨光學(xué)平臺及旋轉(zhuǎn)托盤而運(yùn)動，完成表面的掃描。再通過CCD等收集反射光，得到晶圓表面圖像，傳到計算機(jī)，從而檢測晶圓表面的缺陷。芯明天高精度P51壓電偏轉(zhuǎn)/掃描臺可以實現(xiàn)θx，θy方向偏轉(zhuǎn)及Z向升降，因其分辨率高、重復(fù)定位精度高、響應(yīng)速度快等特點非常適于晶圓檢測，即可用于調(diào)節(jié)光路，又可調(diào)節(jié)晶圓樣品的觀測視角，大大提高了晶圓檢測的精度。P51系列壓電偏
2020
09-07

RM100系列360度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)重磅上線！
RM100系列360度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)重磅上線！RM100系列壓電馬達(dá)是由壓電陶瓷驅(qū)動的壓電步進(jìn)直驅(qū)馬達(dá)，利用特殊機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計，將壓電陶瓷產(chǎn)生的直線微位移轉(zhuǎn)換為機(jī)械平面的宏觀角度旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。RM100系列旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)可產(chǎn)生360度旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，具有超高的旋轉(zhuǎn)分辨率，它的體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，非常適于集成，具有高性價比。可搭配E53.C小體積壓電控制器配合使用，可利用上位機(jī)軟件操作，更便捷特點雙向360度旋轉(zhuǎn)高精密直線壓電電機(jī)高分辨率光柵尺精加工鋁合金基板高精度滾珠導(dǎo)軌副技術(shù)參數(shù)型號：RM100旋轉(zhuǎn)行程：36
2020
09-02

致動/傳感應(yīng)用中的壓電纖維片
壓電纖維片是壓電纖維復(fù)合材料，是薄片型的執(zhí)行器和傳感器，內(nèi)部是由壓電纖維棒組成，有橫向伸長、收縮、以及45°斜邊伸長三種形變模式。通過將壓電纖維片與金屬薄片粘接貼合的方式帶動金屬片發(fā)生彎曲、扭轉(zhuǎn)等形變。MFC可以作為薄的、表面適形的片材應(yīng)用（通常粘合）到各種類型的結(jié)構(gòu)，或嵌入復(fù)合結(jié)構(gòu)中。如果施加電壓，它會將被粘貼的材料彎曲或扭曲，抵消振動或產(chǎn)生振動。如果不施加電壓，它可以作為非常靈敏的形變傳感器使用，感應(yīng)變形、噪音和振動。MFC也是從振動中獲取能量的裝置。MFCP1模式MFCP1型（d33效果）
2020
09-02

N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡
N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡，是一款定制型壓電精瞄鏡，與其他壓電偏轉(zhuǎn)鏡不同的是，它具有方形的外形結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)使其更易于安裝固定。特點?θx、θy二維偏轉(zhuǎn)?大角度偏轉(zhuǎn)達(dá)50mrad?閉環(huán)分辨率達(dá)2μrad?可選配閉環(huán)傳感器結(jié)構(gòu)簡介N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸運(yùn)動）是基于平行運(yùn)動學(xué)設(shè)計，具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機(jī)構(gòu)（PZT壓電陶瓷驅(qū)動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運(yùn)動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。高
2020
08-24

P18.XY300壓電掃描臺典型應(yīng)用領(lǐng)域
圖像處理與穩(wěn)定?掃描顯微?干涉/計量?表面檢測?半導(dǎo)體測量?光學(xué)計量應(yīng)用實例-納米光刻在納米光刻實驗中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應(yīng)用于納米光刻實驗。特性?大位移370μm?大承載3.5kg?通孔直徑：?35mm?閉環(huán)重復(fù)定位精度高?響應(yīng)速度快1~3維掃描臺P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。大位移、大承載、高剛度、高頻響P18系列壓電掃描臺內(nèi)
2020
08-24

P18系列壓電掃描臺有哪些參數(shù)
為1-3維直線掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm的高速掃描，大通光孔徑為?35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。特性：?大位移370μm?大承載3.5kg?通孔直徑：?35mm1~3維掃描臺P18壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。典型應(yīng)用?閉環(huán)重復(fù)定位精度高?響應(yīng)速度快?圖像處理與穩(wěn)定?掃描顯微?干涉/計量?表面檢測?半導(dǎo)體測量?光學(xué)計量大位移、大承載、
2020
08-22

微納操作系統(tǒng)中的微動壓電鉗
作為微納操作系統(tǒng)中的一個末端執(zhí)行機(jī)構(gòu)，微動夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運(yùn)、放置與釋放。壓電鉗通過傳動機(jī)構(gòu)，將電壓轉(zhuǎn)化為鉗口的位移輸出，通過鉗口閉合實現(xiàn)微操作對象的夾持，張開實現(xiàn)微操作對象的釋放。芯明天研發(fā)生產(chǎn)的微動壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅(qū)動，采用柔性鉸鏈機(jī)械放大結(jié)構(gòu)，具有分辨率高、響應(yīng)速度快、無摩擦等特點。夾持位移可達(dá)100微米，是微納操作系統(tǒng)中*的執(zhí)行器件。特點?夾持位移達(dá)100μm?亞毫秒級響應(yīng)時間?諧振頻率達(dá)1.5kHz技術(shù)參數(shù)型號：XD002-D2運(yùn)動自由度：X行程范圍（0~120
2020
08-22

P84系列壓電千分尺介紹及其應(yīng)用于擠壓/厚度檢測！
P84系列壓電千分尺是宏動手動調(diào)節(jié)千分尺與電動調(diào)節(jié)壓電驅(qū)動機(jī)構(gòu)相結(jié)合的運(yùn)動平臺。它的宏動手調(diào)范圍為13mm，壓電驅(qū)動調(diào)節(jié)范圍為100μm。精調(diào)精度可達(dá)4nm。特點?X向運(yùn)動，1~3維運(yùn)動可選?手調(diào)千分尺行程13mm，分辨率達(dá)10µm?壓電精調(diào)行程100µm，分辨率達(dá)4nm?壓電調(diào)節(jié)可選配傳感器技術(shù)參數(shù)型號：P84.X100S運(yùn)動自由度：X行程范圍（粗調(diào)+精調(diào)）：13mm+100μm殼體材料：鋼、鋁粗調(diào)行程范圍：13mm粗調(diào)分辨率：10μm粗調(diào)驅(qū)動方式：螺紋副（分厘卡）粗調(diào)靈敏度：粗調(diào)讀數(shù)：10微
2020
08-17

光纖拉伸解決方案
PZT壓電陶瓷疊堆-光纖拉伸（微米范圍/飛秒）/光延時芯明天PZT壓電陶瓷（也稱為PZT移相器）的尺寸非常小巧，可小至2mm以下，在一定電壓驅(qū)動下，可產(chǎn)生幾微米、幾十微米甚至幾百微米的形變位移。可將光纖固定于PZT壓電陶瓷上，隨PZT的伸長形變而拉伸光纖，可進(jìn)行皮秒級的光延時調(diào)節(jié)。該方式不受光纖類型的限制，均可拉伸；并且，PZT壓電陶瓷的形變速度非常之快，且精準(zhǔn)。PZT壓電陶瓷的緊湊外形使其適合各種系統(tǒng)應(yīng)用，例如可變光延遲、光纖干涉測量、超快速動力學(xué)和激光。特點適于光程長度的調(diào)制高調(diào)制速度高調(diào)制
2020
08-17

三維壓電掃描臺用于顯微鏡探針校準(zhǔn)
顯微鏡中的探針校準(zhǔn)通常需要一個中心通孔（用于光線通過）。P15系列三維壓電掃描臺具有66×66mm的自由中心孔，非常適合透射光等此類相關(guān)應(yīng)用。運(yùn)動行程為300μm/軸，具有較高的直線度，平臺內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)，使其具有更高的剛度和直線度?？蛇x擇集成的閉環(huán)反饋傳感器保證納米精度的長期高精度樣品調(diào)整。P15系列壓電掃描臺還可以輕松與其他機(jī)械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。它們適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。特點?XYZ三維直線運(yùn)動?通孔尺寸66×66mm?設(shè)計緊湊?固態(tài)鉸鏈
2020
08-10

適于光纖對接調(diào)整的六自由度壓電納米定位臺
什么是六自由度壓電納米定位臺？六自由度壓電納米定位臺可產(chǎn)生X、Y、Z三軸直線運(yùn)動以及θx、θy、θz三軸偏轉(zhuǎn)/旋轉(zhuǎn)角度運(yùn)動的壓電平臺。運(yùn)動如下圖所示。（注：θx運(yùn)動即為以X軸為中心軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。）六自由度壓電定位臺應(yīng)用舉例-光纖對接調(diào)整光纖裸纖一般分為三層，中心高折射率真玻璃芯、中間為低折射率真硅玻璃包層、外層為加強(qiáng)用的樹脂涂層。入射到光纖端面的光并不能全部被光纖所傳輸，只有在某個角度范圍內(nèi)的入射光才會被傳輸。這個角度被稱為數(shù)值孔徑，越大對光纖的傳輸越有利。光纖中傳輸光的中心部分和中間部分的直徑
2020
08-10

高精度壓電旋轉(zhuǎn)臺用于電子器件無損檢測
現(xiàn)如今，半導(dǎo)體器件、印刷電路板等電子器件在很多領(lǐng)域都得到廣泛應(yīng)用，這些電子器件的性能直接影響整個系統(tǒng)的性能，它們的可靠性起到了很重要的作用。隨著電路板上元器件密度的日益增大，器件間的連接點只有微米級，常規(guī)的檢測手段受到了極大的限制，因為需要精度更高的測試方法。光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)以其檢測速度快、精度高等特點受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺，使顯微熱圖像在四個依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統(tǒng)通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采
2020
08-03

E63.C 系列壓電陶瓷控制器
工業(yè)式E63.C1K為小體積單通道開環(huán)低動態(tài)壓電陶瓷控制器，USB上位機(jī)軟件控制及供電。產(chǎn)品體積僅優(yōu)盤大小，便于集成電路板控制器，是開環(huán)小體積壓電控制器的不錯選擇。特點：?輸出電壓：0~150V?單通道開環(huán)控制?USB上位機(jī)軟件控制?工業(yè)應(yīng)用驅(qū)動原理:負(fù)載階躍時間：應(yīng)用展示：使用E63.C1K驅(qū)動封裝式壓電陶瓷，體積小巧，易于集成，非常適合干涉儀等應(yīng)用。技術(shù)參數(shù)：尺寸圖：小體積壓電控制器的特點是產(chǎn)品體積小巧，適用于小空間及多路閉環(huán)控制需求，適用于壓電促動器、壓電偏轉(zhuǎn)鏡、壓電平移臺等壓電產(chǎn)品的控制
2020
08-03

P35 系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡
P35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是專為大角度偏轉(zhuǎn)應(yīng)用而設(shè)計，可使得光束偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)86mrad（約4.9度，17700秒），非常適合高精度大行程角度的快速偏轉(zhuǎn)應(yīng)用。特點：θx、θy偏轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)43mrad/軸分辨率可達(dá)1μrad空載諧振頻率達(dá)1.5kHz技術(shù)參數(shù)：尺寸圖：壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動器直接驅(qū)動，多用于圖象處理/穩(wěn)定、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、光束偏轉(zhuǎn)/穩(wěn)定等系統(tǒng)。哈爾濱芯明天科技有限公司提供的壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)鏡具有體積小、位移分辨率高、頻響高、無噪聲、不發(fā)熱等特點。且已經(jīng)過多家科研院所測試，驗證
2020
07-27

極低溫、強(qiáng)磁場二維掃描壓電納米定位平臺！
近年來，在環(huán)境下研究納米尺度下的物理學(xué)與材料學(xué)已成為學(xué)術(shù)研究的熱點。在極低溫、強(qiáng)磁場下，依據(jù)原子力、磁力等可從物質(zhì)結(jié)構(gòu)、物理特性、溫度、磁場、電學(xué)、光學(xué)、微波等多個物理維度實現(xiàn)對樣品性能的表征。它的應(yīng)用非常廣泛，例如研究超導(dǎo)材料、二維材料、拓?fù)浣^緣體等。XD103系列壓電納米定位臺是專為極低溫、強(qiáng)磁場環(huán)境而研發(fā)設(shè)計，采用低溫壓電驅(qū)動，外殼采用輕型材料。XD103為XY二維掃描運(yùn)動，它的體積小巧，尺寸僅33×33×15mm，中心具有10×10mm通孔。所有組件均采用低溫強(qiáng)磁兼容版本，以保證其在低溫
2020
07-27

壓電陶瓷致動器的直線運(yùn)動應(yīng)用
壓電陶瓷致動器做為相關(guān)應(yīng)用技術(shù)時，通常要求運(yùn)動幾納米或更高的分辨率，亞毫米或微米級行程范圍的應(yīng)用在線性運(yùn)動中并不少見。為了說明這一點，下面是一些行業(yè)和應(yīng)用的例子，在這些行業(yè)和應(yīng)用中，壓電陶瓷致動器通常是優(yōu)秀解決方案。微升和納升分配當(dāng)需要分配微升或納升體積時，它需要精確的運(yùn)動來控制分配，由壓電陶瓷致動器促動隔膜泵或閥門是一種常見的解決方案。通過給壓電陶瓷施加電壓，改變其位移的大小和速率，從而達(dá)到微升或納升分配的目的。壓電致動器的位移決定分配體積，致動器的工作頻率控制流量，壓電陶瓷致動器具有分辨率高
2020
07-20

配有電容位移測量驗證的壓電控制器
配有電容位移測量驗證的壓電控制器，如此之叫法，是因其本質(zhì)為壓電控制器，但與通常壓電控制器不同的是，它額外配有電容式位移測量模塊，該模塊可用于測量微運(yùn)動型產(chǎn)品的位移量，測量范圍一般為0~200μm。該壓電控制器的功能及使用方法如下。功能1：可用于驗證閉環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)的位移量閉環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)是可進(jìn)行位移閉環(huán)伺服控制的壓電納米運(yùn)動定位系統(tǒng)，它可對壓電促動器的運(yùn)動位移量進(jìn)行實時的反饋及控制，在這種系統(tǒng)中，配備的壓電控制器為閉環(huán)壓電控制器，它由功率放大模塊、閉環(huán)伺服模塊、供電模塊組成，可選配上位機(jī)
2020
07-20

壓電物鏡定位器的顯微鏡領(lǐng)域應(yīng)用
新的超分辨率技術(shù)，例如受激發(fā)射損耗顯微鏡，光激活定位顯微鏡和隨機(jī)光學(xué)重建顯微鏡，已將分辨率從100–200nm降至更低。納米級分辨率的壓電物鏡定位器非常適合這些應(yīng)用。顯微鏡和樣品架的對準(zhǔn)要求精確，快速的移動?；诟叻直媛蕢弘娞沾沈?qū)動的壓電物鏡定位器可以提供*的超精密技術(shù)支持。P72系列壓電物鏡定位器是專門為顯微鏡應(yīng)用而設(shè)計，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計，無摩擦且具有*的分辨率，補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，非常適合樣品調(diào)整，光束對準(zhǔn)和光束跟蹤等應(yīng)用。特點Z軸運(yùn)動100μm行程2.5nm分

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