產(chǎn)品介紹
概要
搭載有世界上采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器
特征
通過(guò)采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。
可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
超潔凈類型
產(chǎn)品介紹
概要
搭載有世界上采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器
特征
通過(guò)采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。
可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
超潔凈類型
規(guī)格
名稱
質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào)
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全標(biāo)度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測(cè)控制范圍
5? F.S.
對(duì)象液體種類 *1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2
zui大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3
±1% F.S.
直線性 *3
±0.5% F.S.
重復(fù)性 *3
±0.5% F.S.
響應(yīng)精度
3秒以內(nèi) (T98)
2秒以內(nèi) (T98)
使用環(huán)境溫度 *4
5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
溫度影響 Span
±0.1%F.S./℃ zui大值±1%
工作差壓值值 *5
zui大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)
耐壓
10MPa (視為流量計(jì))
壓力損失
zui大值. 500Pa
流量設(shè)定信號(hào)
模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號(hào)
模擬：0?5 VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動(dòng)電源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格
5×10-12Pa·m3/s (He)
