產(chǎn)品介紹
    INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測(cè)量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測(cè)量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.
MPG400冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)的詳細(xì)介紹
優(yōu)點(diǎn)：
■復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼
■寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
■無(wú)可燒毀的燈絲
■的引燃功能
■易清洗
■FPM或金屬密封的饋入件
■高壓加上時(shí)LED指示燈亮
■對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)
應(yīng)用：
■高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)
■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量
■一般真空測(cè)量和控制，從中至高真空范圍
技術(shù)參數(shù)：
 測(cè)量范圍 (空氣, N2)
 
毫巴(乇)
5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
% 讀值
≈±30%
重復(fù)性1 x 10-8 … 100毫巴
% 讀值
≈±5%
安裝方向
 
任何
允許壓強(qiáng)
巴()
≤10 (限于惰性氣體)
允許溫度
工作 (室溫)
貯存 
烘烤 1)
燈絲溫度 (皮拉尼)
 
°C
°C
°C
°C
 
+5 … +55
–40 … +65
150
120
電源電壓
 
 
在規(guī)管上
V DC
+15 … +30
在供電單元上, zui大電纜長(zhǎng)度 2)
V DC
+16 … +30
紋波
Vpp
≤1
功耗
W
≤2
連接保險(xiǎn)絲
AT
≤1
輸出訊號(hào)(測(cè)量訊號(hào))
 
 
電壓范圍
V
0 … +10.5
測(cè)量范圍
V
+1.82 … +8.6
電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系
 
對(duì)數(shù), 0.6 V/量級(jí)
誤差訊號(hào)
V
<0.5 (無(wú)電源)
 
V
>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)
輸出阻抗
?
2 x 10
zui小負(fù)載阻抗
k?
10, 短路保護(hù)
響應(yīng)時(shí)間      p > 10-6 毫巴
毫秒
<10
p = 10-8 毫巴
毫秒
≈1000
規(guī)管標(biāo)識(shí)
k?
85, 參考電源公共點(diǎn)
狀態(tài)
 
 
僅皮拉尼模式
V
0 (低)
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式
V
15 … 30 (高)
指示燈
LED 綠色
高壓on
電氣連接
 
FCC 68 設(shè)備連接件, 8腳,凹型
傳感器電纜
 
8芯,加屏蔽
電纜長(zhǎng)度
米
≤50 (8 x 0.14 毫米2)
工作電壓
千伏
≤3.3
工作電流
微安
≤500
暴露于真空的材料
 
不銹鋼, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W
不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W
內(nèi)容積
厘米3
≈20
重量