性能參數(shù)
平移范圍12.5mm(5")
測(cè)量范圍300μm(±150μm)[12000μinch(±6000μinch)]
驅(qū)動(dòng)/檢測(cè)元件探測(cè)儀:178-390/178-395
測(cè)頭:金剛石
測(cè)量力:4mN/0.75mN
測(cè)方式:微感應(yīng)
評(píng)定輪廓P,R
測(cè)量參數(shù)Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Sm,S,Pc,P3z,mr
數(shù)字過(guò)濾2CR-75%,2CR-75% PC,Gaussian-50%
截至λC 0.25,0.8,2.5mm
波長(zhǎng)λS 2.5,8μm
取樣長(zhǎng)度(L)0.25,0.8,2.5mm