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K975X 多用途高真空蒸發(fā)鍍膜儀

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  • 型號(hào)K975X
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2018-05-15
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量16
  • 人氣值1626
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南京覃思科技有限公司是由原南京江南光學(xué)儀器廠光電儀器專家出資設(shè)立的一家從事光學(xué)、電子儀器銷售與服務(wù)的專業(yè)公司。公司經(jīng)營(yíng)范圍主要為:光學(xué)儀器;光電測(cè)量?jī)x器;電子儀器;與儀器配套的計(jì)算機(jī)軟硬件的銷售、研發(fā)以及技術(shù)服務(wù)。公司具有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),擁有良好的客戶資源和技術(shù)能力,所銷售的儀器質(zhì)量和服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
代理銷售的產(chǎn)品為:“美國(guó)OGP”三坐標(biāo)測(cè)量顯微鏡;“韓國(guó)MIRERO”掃描電子顯微鏡AIS2100(掃描電鏡SEM);Delong USA Inc低壓桌上型透射電鏡LVEM5(LVTEM超小型臺(tái)式透射電鏡);“美國(guó)熱電NORAN”X-RAY能譜儀;“英國(guó)EMITECH”電鏡制樣設(shè)備;“日本尼康(NIKON)”生物顯微鏡;“美國(guó)Maxwell”冷光儀(BL/CL法摩爾濃度儀、生物發(fā)光儀、化學(xué)發(fā)光檢測(cè)儀);“德國(guó)萊卡(LEICA)”金相顯微鏡、其它工業(yè)顯微鏡;“日本拓普康(TOPCON)”色彩輝度計(jì)BM-7等系列、分光輻射度計(jì)SR-3;“英國(guó)雷尼紹(RENISHAW)”激光干涉儀、球桿儀;國(guó)產(chǎn)“江南牌(JN)”各類顯微鏡;“貴陽新天”萬工顯、投影儀、測(cè)長(zhǎng)儀;以及與儀器配套的顯微圖象處理分析軟件系統(tǒng)(含各種進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)CCD攝像頭)DT-2000等,本公司是韓國(guó)MIRERO株式會(huì)社*的掃描電子顯微鏡(掃描電鏡SEM)中國(guó)總代理,同時(shí)還是“英國(guó)EMITECH”電鏡制樣設(shè)備、韓國(guó)SurfaceTech界表面張力\接觸角測(cè)量?jī)x中國(guó)總代理以及Delong USA Inc桌上型低壓透射電鏡LVEM5中國(guó)大陸代理商。本公司還承接各種顯微鏡的數(shù)字化改造。技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
本公司一向堅(jiān)持以“誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、誠(chéng)實(shí)服務(wù)”為立業(yè)宗旨,奉行“精研覃思、無微不至”的企業(yè)文化,公司將以更優(yōu)秀的科技產(chǎn)品及服務(wù)回報(bào)社會(huì),愿與社會(huì)各界竭誠(chéng)合作,共同發(fā)展。
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K975X渦輪蒸鍍儀是一個(gè)多用途系統(tǒng),它具有靈活性和模塊化擴(kuò)展功能,以適應(yīng)不同的樣品制備。它可從蒸籃和坩鍋進(jìn)行碳蒸發(fā)、金屬蒸發(fā)并且可選濺射附件。K975X可應(yīng)用一系列成熟技術(shù),包括鍍碳及TEM覆形,碳/金屬蒸發(fā)、低角度Shadowing和通過使用雙源蒸發(fā)進(jìn)行順序涂層,可選的濺射鍍膜附件能適用于各種靶材。
多用途高真空蒸發(fā)鍍膜儀 產(chǎn)品詳情

K975X渦輪蒸鍍儀是一個(gè)多用途系統(tǒng),它具有靈活性和模塊化擴(kuò)展功能,以適應(yīng)不同的樣品制備。
它可從蒸籃和坩鍋進(jìn)行碳蒸發(fā)、金屬蒸發(fā)并且可選濺射附件。
K975X可應(yīng)用一系列成熟技術(shù),包括鍍碳及TEM覆形,碳/金屬蒸發(fā)、低角度Shadowing和通過使用雙源蒸發(fā)進(jìn)行順序涂層,可選的濺射鍍膜附件能適用于各種靶材。
通過使用微處理控制器,更增強(qiáng)了系統(tǒng)的靈活性,用戶很容易附加各種可選件,但是這些“缺省”都是經(jīng)過優(yōu)化操作設(shè)計(jì),使得全自動(dòng)和手動(dòng)操作均可實(shí)現(xiàn)*操作。
*的抽屜式樣品裝載系統(tǒng)使用戶方便放入各種樣品,鉸鏈?zhǔn)巾斏w結(jié)構(gòu)很容易達(dá)到系統(tǒng)其它區(qū)域。
渦輪分子泵安裝在系統(tǒng)外部,可方便安裝及更換,它的前級(jí)真空為旋轉(zhuǎn)真空泵。 整個(gè)抽氣過程為全自動(dòng)控制,達(dá)到高真空后進(jìn)行蒸發(fā)。本儀器為臺(tái)式,可方便地進(jìn)行使用控制,使用中的疏忽也不易造成損壞。

K975S半導(dǎo)體晶圓蒸鍍儀
K975S基于K975X,但是它具有特殊的裝載鎖定門,可允許放入8英寸(200mm)晶圓鍍碳,應(yīng)用于FIB。

優(yōu)點(diǎn)
容易操作
● 使用靈活
可靠的碳蒸發(fā)
方便的樣品裝載及卸載
● 靈活的操作,可選擇碳及金屬蒸發(fā)源
● 在排氣過程中可防止樣品損壞
系統(tǒng)靈活性強(qiáng)
很容易測(cè)量金屬或碳沉積膜厚
 
特點(diǎn)
全自動(dòng)抽真空系統(tǒng)
● 樣品尺寸可達(dá)140毫米見方或200毫米直徑
● *的“anti-stick”碳棒蒸發(fā)機(jī)構(gòu)
● 抽屜式樣品裝載系統(tǒng)
● 可選的蒸鍍類型,具有四種蒸發(fā)設(shè)置
● 約束的或開放的排氣控制
● 可選用各種濺射靶材附件適用于一系列金屬
● 可選膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
 
可選濺射附件
濺射電流:0到100mA
沉積速率:0到50nm/分(Au)
標(biāo)準(zhǔn)靶:57mm Au(可選Pt, Pt/Pd, Pd, Cr, Ni, Cu, Ag)
定時(shí):0到4分鐘
HT安全互鎖裝置
 
可選膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
可選輝光放電
 
技術(shù)規(guī)格
 
儀器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃,帶有鉸鏈?zhǔn)巾斏w。250mm Dia x 300mm H(樣品可達(dá)直徑200 mm即8")
安全鐘罩:聚碳酸酯,維護(hù)時(shí)工作腔室很容易移開
重量:65Kg
碳槍:高度可調(diào),傾斜0-20o ,使用直徑6.15mm碳棒
渦輪分子泵:100L/Second為標(biāo)準(zhǔn)配置,可選各種尺寸
真空范圍:ATM - 1x10-7mbar
工作真空達(dá)到時(shí)間:15分鐘內(nèi)
操作真空:10-5 mbar量級(jí)(可選液氮冷阱)
蒸發(fā)源(脈沖或可變控制):四種模式可選,低電壓
       a.c. V, 5V, 15V,25V @ 25 amps. 7V @100 amps
樣品臺(tái):0-45o可傾斜         
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)(可選):直徑60mm,傾斜0-45o,具有
15rpm 到 45rpm可變速度控制
Services –Argon(對(duì)可選濺射附件) - Nominal 4psi.
真空泵:No. 2 泵(2m3/Hr),complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter
電源:230V 50/60Hz (包含泵zui大電流為8 Amp);115V 50/60Hz (包含泵zui大電流為16 Amp)
注:In Circuits with Current Trips , when using Pulse for 230 v a 16amp minimum for 115 v a 32 amp minimum
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
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