K975X渦輪蒸鍍儀是一個(gè)多用途系統(tǒng),它具有靈活性和模塊化擴(kuò)展功能,以適應(yīng)不同的樣品制備。
它可從蒸籃和坩鍋進(jìn)行碳蒸發(fā)、金屬蒸發(fā)并且可選濺射附件。
K975X可應(yīng)用一系列成熟技術(shù),包括鍍碳及TEM覆形,碳/金屬蒸發(fā)、低角度Shadowing和通過使用雙源蒸發(fā)進(jìn)行順序涂層,可選的濺射鍍膜附件能適用于各種靶材。
通過使用微處理控制器,更增強(qiáng)了系統(tǒng)的靈活性,用戶很容易附加各種可選件,但是這些“缺省”都是經(jīng)過優(yōu)化操作設(shè)計(jì),使得全自動(dòng)和手動(dòng)操作均可實(shí)現(xiàn)*操作。
*的抽屜式樣品裝載系統(tǒng)使用戶方便放入各種樣品,鉸鏈?zhǔn)巾斏w結(jié)構(gòu)很容易達(dá)到系統(tǒng)其它區(qū)域。
渦輪分子泵安裝在系統(tǒng)外部,可方便安裝及更換,它的前級(jí)真空為旋轉(zhuǎn)真空泵。 整個(gè)抽氣過程為全自動(dòng)控制,達(dá)到高真空后進(jìn)行蒸發(fā)。本儀器為臺(tái)式,可方便地進(jìn)行使用控制,使用中的疏忽也不易造成損壞。
K975S半導(dǎo)體晶圓蒸鍍儀
K975S基于K975X,但是它具有特殊的裝載鎖定門,可允許放入8英寸(200mm)晶圓鍍碳,應(yīng)用于FIB。
優(yōu)點(diǎn) ● 容易操作 ● 使用靈活 ● 可靠的碳蒸發(fā) ● 方便的樣品裝載及卸載 ● 靈活的操作,可選擇碳及金屬蒸發(fā)源 ● 在排氣過程中可防止樣品損壞 ● 系統(tǒng)靈活性強(qiáng) ● 很容易測(cè)量金屬或碳沉積膜厚 |
特點(diǎn) ● 全自動(dòng)抽真空系統(tǒng) ● 樣品尺寸可達(dá)140毫米見方或200毫米直徑 ● *的“anti-stick”碳棒蒸發(fā)機(jī)構(gòu) ● 抽屜式樣品裝載系統(tǒng) ● 可選的蒸鍍類型,具有四種蒸發(fā)設(shè)置 ● 約束的或開放的排氣控制 ● 可選用各種濺射靶材附件適用于一系列金屬 ● 可選膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng) |
濺射電流:0到100mA
HT安全互鎖裝置
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃,帶有鉸鏈?zhǔn)巾斏w。250mm Dia x 300mm H(樣品可達(dá)直徑200 mm即8")
安全鐘罩:聚碳酸酯,維護(hù)時(shí)工作腔室很容易移開
重量:65Kg
碳槍:高度可調(diào),傾斜0-20o ,使用直徑6.15mm碳棒
渦輪分子泵:100L/Second為標(biāo)準(zhǔn)配置,可選各種尺寸
真空范圍:ATM - 1x10-7mbar
工作真空達(dá)到時(shí)間:15分鐘內(nèi)
操作真空:10-5 mbar量級(jí)(可選液氮冷阱)