設計特點
? 熱式原理
? 一體化設計
? 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
? 響應時間不超過 2 秒鐘
? 操作壓力可達 20MPa
? 對安裝位置不敏感
? 316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體
? 無直管段安裝要求
? 單電源供電
設計特點
· 熱式原理
· 一體化設計
· 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
· 響應時間不超過 2 秒鐘
· 操作壓力可達 20MPa
· 對安裝位置不敏感
· 316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體
· 無直管段安裝要求
· 單電源供電
技術參數(shù)
流量范圍 ：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具體請參考表一
響應時間 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 滿量程（除 204A 型）；
---------± 1.5% 滿量程（ 204A 型）
重 復 性 ： ± 0.2% 滿量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%- 滿量程）
環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃
zui大操作壓力 ： 3000PSIG （ 20MPa ），具體請參考表一
零點漂移： ± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移 ： ± 0.05 % 讀數(shù) / ℃
壓力漂移 ： 0.1%/atm （相對于 N 2 ）
安裝方向 ： 對位置不敏感
預熱時間 ： 10 分鐘
電氣連接 ： 卡式 （ 20 針）或 D 型（ 9 針）
設定點輸入流量信號輸出 ：0-5VDC/0-5VDC （zui小負載電阻 2K Ω ）；
-------------------------0-10VDC/0-10VDC （zui小負載電阻 3K Ω ）；
-------------------------1-5VDC/1-5VDC （zui小負載電阻 2K Ω ）；
-------------------------4-20mA/4-20mA （請參考下面的說明）；
-------------------------1-5VDC/4-20mA （請參考下面的說明）
對于流量信號輸出為 4-20mA 的負載電阻：
環(huán)路電壓為 6.5-15VDC 時： 0-450 Ω
環(huán)路電壓為 15-30VDC 時： 200-750Ω
供應電源 ：
電壓輸出：＋ 12（ ± 5 ％ ） （僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出）或 +15（ ± 10 ％ ）VDC
電流輸出：＋ 15（ ± 5 ％ ） 或 +24（ ± 15 ％ ）VDC
電流消耗：＜ 250mAdc
重 量 ：請參考表一
結構材質;
主體： 316SS
傳感器組件 ： 316LSS
孔： 316SS
閥構成部件 （接液）：
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型）
密封材質（” O ”型環(huán)和閥座）：
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton （ 202A 、 203A 和 204A 型）
過程連接： 316SS
