品牌：alicat
產(chǎn)品描述：
量程0-0.5sccm和0-5000slpm,100:1的量程比，內(nèi)置130種氣體，10ms快速響應(yīng)時間，優(yōu)于1%的精度
美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量計均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的20S系列數(shù)字式質(zhì)量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
技術(shù)參數(shù) ：
介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類：內(nèi)置了130種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載”氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）
量程比：100:1
zui大顯示流量：128%FS
顯示屏：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程
高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm
預(yù)熱時間：<1s
響應(yīng)時間：10ms
標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ºC
工作濕度：0-,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)zui大工作壓力：1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓，進(jìn)出口zui大瞬時壓差可為500kPa
中壓耐壓：2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus、Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：40mA
電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
防護(hù)等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及
供電電流需咨詢我們
