在硬盤和TFT-LCD的生產(chǎn)過程中以及半導體產(chǎn)品的處理過程中對懸浮粒子的實時監(jiān)控是非常重要的。 HCT 凝聚核粒子計數(shù)器 (CPC) 4322 和 4323可以滿足在工業(yè)生產(chǎn)中對懸浮粒子濃度進行快速的檢測和報警的需要。
這款水基凝聚核粒子計數(shù)器(WCPC)的設計可以滿足高級別潔凈室的檢測需要。它的zui小采樣粒徑可以達到 10 nm, 而且采樣流量高達
優(yōu)點:
• 快速響應
• 高采樣流速
• 水基
• 兼容 SMPS 系統(tǒng)
• zui小檢測粒徑達到 7 nm
• 高級別潔凈室監(jiān)測
• 可遠程控制
參數(shù):
• 計數(shù)效率 : 50 % @ 7 nm NaCl 粒子 100 % @ 10nm NaCl 粒子
• 采樣流量 :
• 工作用液體 : 去離子水 (*使用)
• zui大檢測濃度: 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323
• 精度: ±10 % up to 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322
±10 % up to 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323
• 12小時背景誤計數(shù): 0.001 particles/cm3 for 4322 0.0005 particles/cm3 for 4323
• 響應時間(在測試濃度發(fā)生變化的情況下):< 5 seconds for 95 % for 4322
< 2 seconds for 95 % for 4323
• 數(shù)據(jù)通訊 : 以太網(wǎng)LAN接口, USB 接口或 RS232
• 操作系統(tǒng) : 內(nèi)置Windows XP
• 數(shù)據(jù)儲存 : FDM (Flash Disk Module) 2GB zui大可擴展到 60GB
• 氣源 : 內(nèi)置無刷直流氣泵
• 外形尺寸 (L X H X W) : 320 X 315 X
• 重量 :
• 電源 : 100~240 VAC, 50~65 Hz