●采用高脫鹽率反滲透膜，脫鹽率高，運行壓力低，壽命可靠。
●采用全自動控制，自動制水、儲水、送水，不需專人守護，隨用隨取。
●高脫鹽率、高回收率，節(jié)約用水成本。
●系統(tǒng)設(shè)有停水、停電、過載的自動保護功能，確保設(shè)備安全。
●系統(tǒng)產(chǎn)水水質(zhì)在線檢測，數(shù)字化顯示準確直觀。
●操作面板人性化設(shè)計，操作簡單、易懂。
系統(tǒng)運行時震動小、噪聲小，對工作環(huán)境無影響。
光刻工藝生產(chǎn)超純水設(shè)備/全自動/旭能環(huán)保
超高純度：能生產(chǎn)出電阻率高達 18MΩ?cm 以上，總有機碳（TOC）含量極低，顆粒計數(shù)極少的超純水，滿足光刻工藝對水質(zhì)的**要求，確保光刻膠的分辨率和精度。
穩(wěn)定運行：旭能采用高品質(zhì)的膜組件、泵、閥門等關(guān)鍵部件，經(jīng)過嚴格的設(shè)計和測試，可長時間連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)高質(zhì)量超純水，保證光刻工藝的連續(xù)性。
自動化程度高：旭能配備**的 PLC 控制系統(tǒng)、傳感器網(wǎng)絡(luò)和遠程監(jiān)控系統(tǒng)，可實時監(jiān)測和控制水質(zhì)、壓力、流量、溫度等參數(shù)，實現(xiàn)自動運行、調(diào)節(jié)、保護和故障報警，減少人工操作和維護成本。
靈活定制：可根據(jù)不同的光刻工藝需求、生產(chǎn)規(guī)模和水質(zhì)要求，進行模塊化設(shè)計和定制化配置，方便設(shè)備的安裝、調(diào)試和擴展。
節(jié)能環(huán)保：旭能采用節(jié)能型泵和優(yōu)化的工藝流程，降低能耗；同時，一些設(shè)備采用的 EDI 技術(shù)減少了酸堿廢水的排放，符合環(huán)保要求。
定期更換耗材：預(yù)處理的精密過濾器、活性炭過濾器的濾芯以及終端的微孔濾膜等需定期更換，如精密過濾器的 PP 濾芯 3-6 個月更換一次。
監(jiān)測膜和樹脂性能：定期監(jiān)測反滲透膜的脫鹽率和水通量，通過測量進水和產(chǎn)水的電導(dǎo)率評估；離子交換樹脂飽和后要進行再生或更換。
清潔與更換殺菌部件：紫外線殺菌單元中的燈管使用壽命一般為 8000-10000 小時，到期需更換，同時要清潔石英套管，保證紫外線透過率。
