安捷倫（原Varian）公司利用干式渦旋真空獲得技術(shù)為用戶提供了高抽速，低極限壓強的真空泵產(chǎn)品。干式渦旋泵具有全無油、高耐用性、高可靠性以及易維護等優(yōu)勢，是眾多應用領域的理想前級真空獲得產(chǎn)品。
IDP-3 系列干泵是安捷倫公司推出的緊湊型全無油的高性能真空泵，能夠適合非常廣泛的應用需要。IDP-3 所具有的60/升/分鐘抽氣速度以及 250mTorr（約33Pa）極限壓強，使其在同級別產(chǎn)品當中具有的優(yōu)勢。
SH-110全密封干式渦旋泵具有業(yè)內(nèi)的真空獲得性能，結(jié)構(gòu)緊湊，能夠輕易地實現(xiàn)與現(xiàn)有各種科研、生產(chǎn)設備的真空系統(tǒng)相集成。此型號單級渦旋泵具有110升/分鐘的抽速(60Hz電源條件下)，可獲得50mTorr(約67Pa)的極限真空，即使單獨作為粗真空獲得設備也是非常理想的選擇。SH-110渦旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多種標準。
TriScroll 300 是一款用于初級真空獲得的多級干式渦旋泵產(chǎn)品,具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 300 以高抽速為用戶提供了具有較低極限真空的無油潔凈真空環(huán)境。多年的實際應用證明，安捷倫的TriScroll 300 設計具有很高的可靠性和耐用性，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，性價比非常突出。
TriScroll 600 是一款用于初級真空獲得的多極干式渦旋泵產(chǎn)品，具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 600 以高抽速為用戶提供了具有較低極限真空的無油潔凈環(huán)境。多年的實際應用證明,Varian的TriScroll設計具有很高的可靠性和耐用性，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，性價比非常突出。
| 型號 | IDP-3 | SH-110 | TriScroll 300 | TriScroll 600 |
| 抽速（l/min） | 50 | 90 | 210 | 420 |
| 極限真空(mbar) | 0.33 | 0.066 | 0.013 | 0.0093 |
| 冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 |
| 重量（Kg） | 9.5 | 19 | 26.4 | 32 |
產(chǎn)品特點：
◆ 全無油泵，不會污染真空系統(tǒng)
◆ 采用獨立馬達與軸承的密封設計
◆ 體積小巧：351x181x140mm
◆ 與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強
◆ 無任何可能造成災害性系統(tǒng)故障的機械部件
◆ 低噪聲，低振動
性能特點
◆ 工作狀態(tài)下泵體發(fā)熱低
◆ 馬達功率不到200瓦，低功耗
◆ 內(nèi)置出氣閥門有效降低工作噪聲
◆ 出氣口位置可以動，以便更好地適應空間要求
◆ 高壓區(qū)間抽速高，確保迅速進入真空狀態(tài)
◆ 重量輕，配有把手，易于攜帶
◆ 內(nèi)置故障保護隔離閥保證真空系統(tǒng)的安全
◆ 配有自動氣鎮(zhèn)閥以有效排空水蒸氣
◆ 維護簡便，只需定期更換密封圈即可
技術(shù)特點
◆ 的TriScrollTM專業(yè)結(jié)構(gòu)設計
◆ 具有軸承吹掃功能，保護軸承不被工藝氣體或粉塵污染
◆ 高可靠性
◆ 具有自動氣鎮(zhèn)口
