◆ 以納米級分辨率,3D測量復(fù)雜表面與自由曲面光學(xué)器件的度量工具
◆ 在所有三個方向上的測量不確定度均低至50 nm(1D)
◆ 與同類三坐標(biāo)測量機相比,測量范圍顯著增加到400 x 400 x 100 mm
◆ 將參考光學(xué)表面轉(zhuǎn)化為機械參考的能力
◆ 可追溯的測量
◆ 多探針儀器,通過運動型探針支架實現(xiàn)
◆ 所有導(dǎo)軌均帶有多孔介質(zhì)空氣軸承,可實現(xiàn)平穩(wěn)、無摩擦的運動,是3D掃描測量的理想之選
◆ 大口徑光學(xué)元件面形測量
◆ 幾何形貌測量
◆ 自由曲面光學(xué)點陣測量
◆ 陣列小工件測量
◆ ( 超) 半球的面形測量
◆ 非球面鏡和模型的掃描測量
測量系統(tǒng) | |||
激光干涉測量分辨率 (X, Y 與Z) | 1.6 nm | ||
1D 測量不確定度 (如:單方向一維測量) | X 軸 | Y 軸 | Z 軸 |
52nm | 49nm | 57nm | |
2D 測量不確定度 (如:二維輪廓測量) | XZ 軸 | YZ 軸 | XY 軸 |
72nm | 70nm | 71nm | |
3D 測量不確定度 (如:三維自由曲面測量) | 109nm | ||
測量范圍(XYZ) | 400mmX400mmX100mm |