關(guān)鍵特征: ? 在空氣湍流和振動(dòng)的環(huán)境下進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量 ? 優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)提供了清晰可見(jiàn)的中間空間頻率特征 ? LivePhase? 軟件可以進(jìn)行實(shí)時(shí)Zernike分析 [見(jiàn)影像] ? Movie模式獲取隨時(shí)間變化的波前 ? 高功率,長(zhǎng)壽命穩(wěn)頻氦氖激光器
新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。
DynaFiz? 光學(xué)系統(tǒng)的長(zhǎng)壽命,高功率氦氖激光源具有高的光效率,使得相機(jī)的高速快門能夠“凝固”振動(dòng)。這種動(dòng)態(tài)能力提供了在惡劣的環(huán)境中,傳統(tǒng)的時(shí)間相移技術(shù)不可能實(shí)現(xiàn)的可靠的測(cè)量。
DynaFiz? 干涉儀的低噪聲,高分辨率相機(jī)和光學(xué)放大能力能夠清晰地觀察被測(cè)樣品表面的中間空間頻率特征。
DynaFiz? 干涉儀具有的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)獲取能力也給光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)提供了便利。 LivePhase? 獲取能力提供了實(shí)時(shí)Zernike反饋為光學(xué)系統(tǒng)的光路對(duì)準(zhǔn)進(jìn)行追蹤。這是一個(gè)電影形式,把一系列動(dòng)態(tài)圖像連接成電影提供光學(xué)系統(tǒng)隨時(shí)間變化的過(guò)程。DynaFiz? 干涉儀將使你的計(jì)量得到很大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測(cè)量可靠性。