顆粒計數(shù)器對于半導體、制藥和精密設備的清潔度管理。RION為各種目的提供粒子計數(shù)器,例如液體粒子計數(shù)器作為電子材料開發(fā)的基本設備,用于在制造半導體、顯示面板過程中保持高清潔度的液體粒子計數(shù)器??蓹z測光阻產(chǎn)品、SOG 、有機溶劑、純水、藥液等產(chǎn)品中小至20nm的顆粒。在國內(nèi),而且在國際上,我們的產(chǎn)品得到了客戶的好評。
半導體制造過程中會用到各種化學品試劑和藥液,如硝酸、氫氟酸、清洗液和刻蝕液等,其顆粒濃度會影響芯片的良率。
RION的液體顆粒度儀采用光散射法原理,可滿足20nm-150um的粒徑測量需求。
日本RION理音液體顆粒計數(shù)器 KS-42AF二、技術(shù)規(guī)格
KS-19F 粒徑0.03-0.13um
KS-18F 粒徑0.05-0.2um
KS-42AF 粒徑 0.1-0.5um
KS-42BF 粒徑0.2-2um
KS-42C 粒徑0.5-20um
KS-42D 粒徑 2um-100um(可擴展150um)
日本RION理音液體顆粒計數(shù)器 KS-42AF三、應用
檢測制程中電子化學品,高純化學試劑,化學藥液和純水等顆粒數(shù)量。