本套設(shè)備采用測(cè)量技術(shù)設(shè)計(jì)制造,能夠?qū)θ缣蓟?、單晶硅、鍺、石英玻璃等材料進(jìn)行厚度研磨的過程進(jìn)行實(shí)時(shí)控制;安裝簡(jiǎn)單,使用方便,測(cè)量精度高至微米級(jí)。在計(jì)算機(jī)里輸入加工工件的起始厚度和目標(biāo)厚度, 當(dāng)工件被研磨達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí),測(cè)厚儀即發(fā)出信號(hào)關(guān)閉主電機(jī),從而使研磨 |
機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng),結(jié)束研磨過程。
測(cè)量精度:工件厚度的 0.1%,即±2μm 以內(nèi)。
適用領(lǐng)域:適合測(cè)量碳化硅、硅、鍺、石英玻璃等硬度與石英 水晶接近的晶體材料。
本機(jī)可以在國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口的所有型號(hào)的研磨機(jī)上安裝使用。
設(shè)備硬件組成:
本測(cè)厚儀由硬件和軟件兩部分構(gòu)成,硬件組成:
序號(hào)Item | 品名及規(guī)格
Commodity & specification | 單位Unit | 每套配備Quantity |
1 | ALC-SI BODY
ALC 測(cè)頻儀本體 | SET
臺(tái) | 1 |
2 | SLIP RING(SR-20)
水銀滑動(dòng)環(huán) | PCS | 2 |
3 | PROBE(低頻)
探頭傳感器 | PCS | 2 |
4 | SIGNAL CABLE
高頻多層屏蔽信號(hào)線 | PCS | 2 |
5 | MOTOR-CONTROL WIRE
電機(jī)控制線 | PCS | 2 |
6 | SOLID RELAY
固態(tài)繼電器 | PCS | 2 |
7 | MOUNTING PLATE
電極支架 | PCS | 2 |
8 | ELECTRODE
電極 | PCS | 2 |
9 | POWER CABLE
電源線 | PCS | 1 |
11 | 工業(yè)控制計(jì)算機(jī)
COMPUTER | SET | 1 |
12 | 15”液晶顯示器 | SET | 1 |